| A63.7069 ปฏิบัติหน้าที่หลักของโปรแกรม | ||
| การควบคุมความดันสูง | การสแกนเส้นแนวตั้ง | การกําหนดการเปลี่ยนเวลา |
| การกําหนดกระแสไฟฟ้า | การปรับคอนเดนเซอร์ | การวัดหลายขนาด |
| การปรับ astigmatic | การปรับไฟฟ้าเข้ากลาง | ความสว่าง / ความแตกต่างอัตโนมัติ |
| การปรับความสว่าง | การปรับเลนส์ | โฟกัสอัตโนมัติ |
| การปรับความแตกต่าง | รูปภาพ | การกําจัด astigmatism แบบอัตโนมัติ |
| การปรับขนาดใหญ่ | กําหนดการทํางาน | การปรับไฟฟ้าแบบอัตโนมัติ |
| โหมดสแกนพื้นที่ที่เลือก | 4 การตั้งค่าความเร็วการสแกน | การจัดการปริมาตร |
| โหมดสแกนจุด | การพลิกเลนส์ของเป้าหมาย | รูปถ่ายฉบับ รูปปิด |
| การสแกนพื้นผิว | การพลิกตัวคอนเดนเซอร์ | การ ดู เร็ว ที่ สําคัญ |
| การสแกนเส้นแนวราบ | การปรับหมุนไฟฟ้า | |
| SEM | เอ 637069 A63.7069-L A63.7069-LV |
เอ 637080 A63.7080-L |
เอ 637081 |
| การแก้ไข | 3nm@30KV ((SE) 6nm@30KV ((BSE) |
1.5nm@30KV ((SE) 3nm@30KV ((BSE) |
1.0nm@30KV ((SE) 3.0nm@1KV ((SE) 2.5nm@30KV ((BSE) |
| การขยายขนาด | 1x~450000xการปรับขนาดจริงเป็นลบ | 1x ~ 600000x, การปรับขนาดจริงลบ | 1x ~ 3000000x การปรับขนาดจริงลบ |
| ปืนอิเล็กตรอน | คาร์ทริจ์ฟิเลนท์เทงเฟรนต์ที่มีศูนย์กลาง | ปืนออกอากาศ Schottky Field | ปืนออกอากาศ Schottky Field |
| โวลเตชั่น | ความกระชับความเร็ว 02รางวัล30kV ปรับต่อเนื่อง ปรับขั้นตอน 100V@0-10Kv, 1KV@10-30KV | ||
| ภาพรวดเร็ว | คีย์หนึ่ง Quick View Image ฟังก์ชัน | ไม่มี | ไม่มี |
| ระบบเลนส์ | เลนส์ไฟฟ้าแม่เหล็กสามระดับ | เลนส์กระจกไฟฟ้าแม่เหล็กหลายชั้น | |
| ช่องเปิด | 3 โมลิบดีนัม เปิดเป้าหมาย ปรับภายนอกของระบบระยะว่าง ไม่จําเป็นต้องแยกเป้าหมายเพื่อเปลี่ยนช่อง | ||
| ระบบสูญเสีย | 1 ปั๊มโมเลกุลทอร์โบ 1 ปั๊มกลไก ห้องตัวอย่าง ความว่าง>2.6E-3Pa ห้องปืนอิเล็กตรอน ความว่าง>2.6E-3Pa ระบบควบคุมความว่างแบบอัตโนมัติ ฟังก์ชันล็อคแวคิวัม ตัวอย่างที่ไม่ต้องการ: A63.7069-LV 1 ปั๊มโมเลกุลทอร์โบ 2ปั๊มกลไก ห้องตัวอย่าง ความว่าง>2.6E-3Pa ห้องปืนอิเล็กตรอน ความว่าง>2.6E-3Pa ระบบควบคุมความว่างแบบอัตโนมัติ ฟังก์ชันล็อคแวคิวัม ความว่างต่ําระยะ 10 ~ 270Pa สําหรับการเปลี่ยนเร็วใน 90 วินาที สําหรับ BSE ((LV) |
1 ชุดปั๊มไอออน 1 ปั๊มโมเลกุลทอร์โบ 1 ปั๊มกลไก ห้องตัวอย่าง ความว่าง> 6E-4Pa ห้องปืนอิเล็กตรอน ความว่าง> 2E-7 Pa ระบบควบคุมความว่างแบบอัตโนมัติ ฟังก์ชันล็อคแวคิวัม |
1 ปั๊มไอออนสปูเตอร์ 1 Getter อีออนส่วนประกอบปั๊ม 1 ปั๊มโมเลกุลทอร์โบ 1 ปั๊มกลไก ห้องตัวอย่าง ความว่าง> 6E-4Pa ห้องปืนอิเล็กตรอน ความว่าง> 2E-7 Pa ระบบควบคุมความว่างแบบอัตโนมัติ ฟังก์ชันล็อคแวคิวัม |
| เครื่องตรวจจับ | SE: เครื่องตรวจจับอิเล็กตรอนระดับรองระยะว่างสูง (พร้อมการป้องกันตัวตรวจจับ) | SE: เครื่องตรวจจับอิเล็กตรอนระดับรองระยะว่างสูง (พร้อมการป้องกันตัวตรวจจับ) | SE: เครื่องตรวจจับอิเล็กตรอนระดับรองระยะว่างสูง (พร้อมการป้องกันตัวตรวจจับ) |
| BSE: ภาคนํา 4 การแบ่งแยก เครื่องตรวจจับการกระจายกลับ |
ไม่จําเป็น | ไม่จําเป็น | |
| ตัวอย่างที่ไม่ต้องการ: A63.7069-LV BSE ((LV): เซมคอนดักเตอร์ 4 การแบ่ง เครื่องตรวจจับการกระจายกลับ |
|||
| CCD:กล้อง CCD อินฟราเรด | CCD:กล้อง CCD อินฟราเรด | CCD:กล้อง CCD อินฟราเรด | |
| ขยาย Port | 2 ขยายท่าทางบนห้องตัวอย่างสําหรับ EDS, BSD, WDS เป็นต้น |
4 ขยายท่าทางบนห้องตัวอย่างสําหรับ BSE, EDS, BSD, WDS เป็นต้น |
4 ขยายท่าทางบนห้องตัวอย่างสําหรับ BSE, EDS, BSD, WDS เป็นต้น |
| ระยะตัวอย่าง | 5 มุม ระยะ 4ออโต้+ 1คู่มือการควบคุม ระยะทางเดินทาง: X=70mm, Y=50mm, Z=45mm R=360°, T=-5°~+90° ((คู่มือ) การสัมผัสการเตือนและหยุดฟังก์ชัน ตัวอย่างที่ไม่ต้องการ: A63.7069-L5 แกน อัตโนมัติเวทีใหญ่ |
5 แกนออโต้ กลางสถานที่ ระยะทางเดินทาง: X=80mm, Y=50mm, Z=30mm R=360°, T=-5°~+70° การสัมผัสการเตือนและหยุดฟังก์ชัน ตัวอย่างที่ไม่ต้องการ: A63.7080-L5 แกนออโต้ ขนาดใหญ่สถานที่ |
5 แกนออโต้ ขนาดใหญ่สถานที่ ระยะทางเดินทาง: X=150mm, Y=150mm, Z=60mm R=360°, T=-5°~+70° การสัมผัสการเตือนและหยุดฟังก์ชัน |
| ตัวอย่างสูงสุด | ขนาด 175 มิลลิเมตร ความสูง 35 มิลลิเมตร | ขนาด 175 มิลลิเมตร ความสูง 20 มิลลิเมตร | กว้าง 340 มม ความสูง 50 มม |
| ระบบภาพ | รูปถ่ายจริง มีความละเอียดสูงสุด 4096x4096 พิกเซล รูปแบบไฟล์ภาพ: BMP ((Default), GIF, JPG, PNG, TIF |
รูปถ่ายจริง มีความละเอียดสูงสุด 16384x16384 พิกเซล รูปแบบไฟล์ภาพ: TIF ((Default), BMP, GIF, JPG, PNG วิดีโอ: อัตโนมัติบันทึกดิจิตอล.AVI วิดีโอ |
รูปถ่ายจริง มีความละเอียดสูงสุด 16384x16384 พิกเซล รูปแบบไฟล์ภาพ: TIF ((Default), BMP, GIF, JPG, PNG วิดีโอ: อัตโนมัติบันทึกดิจิตอล.AVI วิดีโอ |
| คอมพิวเตอร์และโปรแกรม | ระบบ PC Work Station Win 10 พร้อมโปรแกรมวิเคราะห์ภาพมืออาชีพ เพื่อควบคุมการทํางานของไมโครสโกป SEM ทั้งหมดมอนิเตอร์ LCD 24 นิ้ว IPS, 500G แฮร์ดดิสก์, หนู, คีย์บอร์ด | ||
| ภาพแสดง | ระดับภาพที่รวยและละเอียดอ่อน แสดงการขยายในเวลาจริง | ||
| ขนาด & น้ําหนัก |
หน่วยกล้องจุลินทรีย์ 800x800x1850 มิลลิเมตร โต๊ะทํางาน 1340x850x740mm น้ําหนักรวม 400 กิโลกรัม |
หน่วยไมโครสโกป 800x800x1480mm โต๊ะทํางาน 1340x850x740mm น้ําหนักรวม 450 กิโลกรัม |
หน่วยไมโครสโกป 1000x1000x1730 มม. โต๊ะทํางาน 1330x850x740mm น้ําหนักรวม 550 กิโลกรัม |
| อุปกรณ์เสริมทางเลือก | |||
| อุปกรณ์เสริมทางเลือก | เอ 507002EDS Energy Dispersive X-ray Spectrometer เครื่องวัดแสง X ที่กระจายพลังงาน เอ 507011เครื่องเคลือบกระจายไอออน |
เอ 507001เครื่องตรวจจับอิเล็กตรอนกระจายกลับ BSE เอ 507002EDS Energy Dispersive X-ray Spectrometer เครื่องวัดแสง X ที่กระจายพลังงาน เอ 507011เครื่องเคลือบกระจายไอออน เอ 507030แผนควบคุมเครื่องยนต์ |
เอ 507001เครื่องตรวจจับอิเล็กตรอนกระจายกลับ BSE เอ 507002EDS Energy Dispersive X-ray Spectrometer เครื่องวัดแสง X ที่กระจายพลังงาน เอ 507011เครื่องเคลือบกระจายไอออน เอ 507030แผนควบคุมเครื่องยนต์ |
| เอ 507001 | เครื่องตรวจสอบ BSE | เครื่องตรวจจับการกระจายย้อนหลังครึ่งตัวนํา 4 ภาค; มีในส่วนประกอบ A+B, Morphology Info A-B; ตัวอย่างที่สามารถตรวจสอบได้ โดยไม่ต้องกระจายทองคํา มีให้บริการในสังเกตความสกปรกและการกระจายจากแผนที่สีเทาโดยตรง |
| เอ 507002 | EDS (เครื่องตรวจจับรังสี X) | ซิลิคอนไนไตรด์ (Si3N4) หน้าต่างเพื่อปรับปรุงการส่ง X-ray พลังงานต่ําเพื่อการวิเคราะห์ธาตุแสง ความละเอียดที่ดี และอิเล็กทรอนิกส์ที่มีความทันสมัยและมีเสียงต่ํา ขนาดเล็กให้ความยืดหยุ่นในการรับประกันกณิตศาสตร์ที่เหมาะสม และสภาพการเก็บของ AATA เครื่องตรวจจับมีชิปขนาด 30 มม. |
| เอ 507003 | EBSD (Elektron Beam Backscattered Diffraction) | ผู้ใช้สามารถวิเคราะห์ทิศทางคริสตัล ระยะคริสตัลและเนื้อหาไมโครของวัสดุและผลงานของวัสดุที่เกี่ยวข้อง, เป็นต้น การปรับปรุงการตั้งค่ากล้อง EBSD โดยอัตโนมัติ ระหว่างการรวบรวมข้อมูล ทําการวิเคราะห์แบบอินเตอร์เอคทีฟ ในเวลาจริง เพื่อได้รับข้อมูลสูงสุด ข้อมูลทั้งหมดถูกแบรนด์ด้วยเท็กเวลา ซึ่งสามารถดูได้ตลอดเวลา ความละเอียดสูง 1392 x 1040 x 12 ความเร็วการสแกนและดัชนี: 198 จุด / วินาที, ด้วย Ni เป็นมาตรฐาน, ภายใต้สภาพของ 2 ~ 5nA มันสามารถรับประกันอัตราดัชนี ≥99% ทํางานได้ดีในสภาพของกระแสไฟฟ้าต่ําและความดันต่ํา 5kV ที่ 100pA ความแม่นยําในการวัดทิศทาง: ดีกว่า 0.1 องศา การใช้ระบบดัชนี triplex: ไม่จําเป็นต้องพึ่งพาการนิยามแบนด์เดียว การดัชนีรูปแบบที่มีคุณภาพต่ําง่าย ฐานข้อมูลพิเศษ: ฐานข้อมูลพิเศษ EBSD ที่ได้รับโดยการแยกอิเล็กตรอน: > 400 โครงสร้างระยะ ความสามารถในการระบุ: มันสามารถระบุวัสดุคริสตัลทั้งหมดของระบบคริสตัล 7 ระบบได้โดยอัตโนมัติ ตัวเลือกที่ก้าวหน้ารวมถึงการคํานวณความเหนียวยืดหยุ่น (Elastic Stiffness) ธาตุเทย์เลอร์ (Taylor) ธาตุชิมิท (Schmidt) เป็นต้น |
| เอ 507010 | เครื่องเคลือบ | กระจกป้องกันกระจก: 250 มม; สูง 340 มม; ห้องแปรรูปแก้ว: ความสูง 88 มม. ความสูง 140 มม. ความสูง 88 มม. ความสูง 57 มม. ขนาดระยะตัวอย่าง: ₹40mm (สูงสุด); ระบบแอกุศล: ปั๊มโมเลกุล และปั๊มกลไก การตรวจสอบความว่าง: ไพรานีเกจ วัคิวัม: ดีกว่า 2 × 10-3 Pa; การป้องกันความว่าง:20 Pa ด้วยวาล์วลมลมขนาดเล็ก การเคลื่อนไหวของตัวอย่าง: การหมุนของระนาบ, การเคลื่อนไหวของทิศทาง |
| เอ 507011 | เครื่องเคลือบกระจายไอออน | ห้องแปรรูปกระจก: 100 มม; ความสูง 130 มม; ขนาดระยะตัวอย่าง: ₹40mm ((ถือ 6 ถ้วยตัวอย่าง) ขนาดเป้าหมายทอง 58mm*0.12mm ((หนา); การตรวจสอบความว่าง: ไพรานีเกจ การป้องกันความว่าง:20 Pa ด้วยวาล์วลมลมขนาดเล็ก ก๊าซกลาง: อาร์กอนหรืออากาศที่มีอากาศอาร์กอนก๊าซ |
| เอ 507012 | เครื่องเคลือบไอออนอาร์กอน | ตัวอย่างถูกเคลือบด้วยคาร์บอนและทองคํา ภายใต้ความว่างสูง โต๊ะตัวอย่างที่สามารถหมุนได้ มีเคลือบแบบเดียวกัน ขนาดอนุภาคประมาณ 3-5nm ไม่มีการเลือกของวัสดุเป้าหมาย ไม่มีการทําลายตัวอย่าง สามารถทําหน้าที่ในการทําความสะอาดไอออนและการลดไอออนได้ |
| เอ 507013 | เครื่องแห้งจุดสําคัญ | กว้างภายใน: 82 มิลลิเมตร ความยาวภายใน: 82 มิลลิเมตร ระยะความดัน:0-2000psi ระยะอุณหภูมิ: 0°-50° C (32°-122° F) |
| เอ 507014 | อิเล็กตรอนเบย์ลิโตกราฟี | พัฒนาระบบการเผยแพร่นาโนใหม่ โดยใช้กล้องจุลินทรีย์อิเล็กตรอนสแกน การปรับเปลี่ยนได้รักษาฟังก์ชัน Sem ทั้งหมดสําหรับการสร้างภาพความกว้างเส้นขนาดนาโน; ระบบ Ebl ที่ปรับปรุงได้ถูกนําไปใช้ในอุปกรณ์ไมโครเอเล็คทรอนิกส์ อุปกรณ์ออปโตเอเล็คทรอนิกส์ อุปกรณ์ควานตัน |
| A63.7069 เครื่องใช้ทั่วไป | |||
| 1 | สายใยวอล์ฟกรัมต์ | เซ็นทรัลล่วงหน้า นําเข้า | 1 กล่อง (5 ชิ้น) |
| 2 | ชามตัวอย่าง | กว้าง 13 มิลลิเมตร | 5 ชิ้น |
| 3 | ชามตัวอย่าง | ดา.32 มิลลิเมตร | 5 ชิ้น |
| 4 | เทปนําไฟคาร์บอน 2 ด้าน | 6 มม. | 1 แพ็คเกจ |
| 5 | ไขมันระบายความร้อน | 10 PC | |
| 6 | ผ้าที่ไม่มีขน | 1 ท่อ | |
| 7 | พาสต้าเคลือบ | 1 PC | |
| 8 | กล่องตัวอย่าง | 2 กระเป๋า | |
| 9 | ผ้าห่ม | 1 PC | |
| 10 | เครื่องกรองหมอกน้ํามัน | 1 PC | |
| A63.7069 เครื่องมือและอะไหล่มาตรฐาน | |||
| 1 | เครื่องสล็อปด้านใน | 1.5mm ~ 10mm | 1 ชุด |
| 2 | เครื่องบด | ความยาว 100-120mm | 1 PC |
| 3 | เครื่องสล็อต | 2 * 50 มิลลิเมตร, 2 * 125 มิลลิเมตร | 2 PC |
| 4 | สกรูไดรเวอร์ข้าม | 2*125 มม | 1 PC |
| 5 | เครื่องถอนเปลือก | 1 PC | |
| 6 | ไม้ทําความสะอาด | 1 PC | |
| 7 | อุปกรณ์ปรับไฟแลนท์ | 1 PC | |
| 8 | ก๊าซเกตปรับไฟแลนท์ | 3 PC | |
| 9 | เครื่องดูดหลอด | 1 PC | |
| อุปกรณ์เตรียมตัวอย่างด้วยกล้องจุลินทรีย์อิเล็กตรอนสแกน | ||