| กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราดแบบทังสเตน (SEM) |
| | A63.7006 | A63.7015 |
| ปณิธาน | 15nm@30KV(SE) | 5nm@30KV(BSE) |
| กำลังขยาย | 20x~60000x | 20x~150000x |
| ปืนอิเล็กตรอน | คาร์ทริดจ์ไส้หลอดทังสเตนแบบกึ่งกลาง, ระบบอัตโนมัติแรงดันอคติ |
| แรงดันไฟฟ้า | เร่งแรงดันไฟฟ้า 1KV ถึง 30KV,
1KV/5KV/10KV/15KV/20KV/30KV-6 ขั้นตอน |
| ระบบเลนส์ | เลนส์คอนเดนเซอร์แม่เหล็กไฟฟ้า 2 ขั้นตอน,
เลนส์ใกล้วัตถุแม่เหล็กไฟฟ้า 1 ขั้นตอน |
| รูรับแสง | - | ไดอะแฟรมม่านตาปรับได้ 30/50/50/100um เปลี่ยนลำแสงไฟฟ้าเพื่อให้ได้ภาพความละเอียดสูง |
| ระบบสูญญากาศ | ปั๊มโรตารี่ 100ลิตร/นาที
ปั๊มโมเลกุลเทอร์โบ 70 ลิตร/วินาที
ปั๊มลง Ttime <3 นาที
ระบบควบคุมสุญญากาศอัตโนมัติเต็มรูปแบบ |
| เครื่องตรวจจับ | SE: เครื่องตรวจจับอิเล็กตรอนรอง |
| BSE: เครื่องตรวจจับการกระเจิงกลับ (อุปกรณ์เสริม) |
| EDS: (ไม่บังคับ) |
| ขั้นตอนการทำงานของตัวอย่าง | ระบบ 3 แกน X, แกน Y : 35 มม. / แกน R : 360° | ระบบ 5 แกน , X, แกน Y : 35 มม. / แกน R : 360°, Z : 0~22mm / แกนเอียง : 0~45° |
| ตัวอย่างสูงสุด | เส้นผ่านศูนย์กลาง 70 มม. สูง 30 มม | เส้นผ่านศูนย์กลาง 80 มม. สูง 35 มม |
| เลื่อนภาพ | X, Y เลื่อนภาพ ±150um |
| ระบบสแกนภาพ | Fast Scan: 320x240 (เวลาสแกน: 0.1 วินาที)
สแกนช้า: 640x480 (เวลาสแกน: 3 วินาที)
โหมดภาพถ่าย 1: 1280x960
โหมดภาพถ่าย 2: 2560x1920
โหมดภาพถ่าย 3: 5120x3840 |
| รูปแบบภาพ | BMP, JPEG, PNG, TIFF |
| ฟังก์ชั่นอัตโนมัติ | เริ่มอัตโนมัติ, โฟกัสอัตโนมัติ, ปรับความสว่าง/คอนทราสต์อัตโนมัติ |
| การแสดงภาพถ่าย | กำลังขยาย, ประเภทเครื่องตรวจจับ, แรงดันไฟฟ้าเร่ง, โหมดสูญญากาศ, โลโก้ (ข้อความ), วันที่ & เวลา, ตัวทำเครื่องหมายข้อความ, แถบมาตราส่วน ฯลฯ |
| คอมพิวเตอร์ซอฟแวร์ | ระบบ PC Work Station Win 10 พร้อมซอฟต์แวร์วิเคราะห์ภาพระดับมืออาชีพเพื่อควบคุมการทำงานของกล้องจุลทรรศน์ SEM ทั้งหมด ข้อกำหนดคอมพิวเตอร์ไม่น้อยกว่า Inter I5 3.2GHz หน่วยความจำ 4G จอ LCD IPS 24 นิ้ว ฮาร์ดดิสก์ 500G เมาส์ คีย์บอร์ด |
| ขนาดและน้ำหนัก | กล้องจุลทรรศน์ 460x600x950mm, น้ำหนักรวม 95Kg |
| A63.7006, A63.7015 ชุดเครื่องมือและชิ้นส่วนมาตรฐาน |
| 1 | ไส้หลอดทังสเตนพรีเซ็นเตอร์ | 5 ชิ้น/กล่อง |
| 2 | ตัวอย่างเวที Dia.15mm | 10 ชิ้น |
| 3 | ตัวอย่างเวที Dia.25mm | 10 ชิ้น |
| 4 | ตัวอย่างเวที Dia.เอียง 15 มม. 45 ° | 5 ชิ้น |
| 5 | ตัวอย่างเวที Dia.เอียง 15 มม. 90° | 5 ชิ้น |
| 6 | ความสูงมาตรฐานมาสเตอร์ | 1 ชิ้น |
| 7 | ประแจอัลเลน | 1 ชุด |
| 8 | ซีดีซอฟต์แวร์ SEM | 1 ชิ้น |
| 9 | เทปนำไฟฟ้าคาร์บอน) | 1 ชิ้น |
| 10 | กรรไกร | 1 ชิ้น |
| 11 | ออริลาวี | 1 ชิ้น |
| 12 | แหนบ | 1 ชิ้น |
