| มิโครสโกปอิเล็กตรอนสแกนไฟแลนท์เพลสเทน (SEM) |
| |
เอ 637006 |
เอ 637015 |
| การแก้ไข |
15nm@30KV ((SE) |
5nm@30KV ((BSE) |
| การขยายขนาด |
20x ~ 60000x |
20x ~ 150000x |
| ปืนอิเล็กตรอน |
คาร์ทริจไฟแลนท์เทงสแตนที่มีศูนย์กลางก่อน ระบบอัตโนมัติความดันเบี้ยว |
| โวลเตชั่น |
ความแรงกระชับความเร็ว 1KV ถึง 30KV 1KV/5KV/10KV/15KV/20KV/30KV-6 ขั้นตอน |
| ระบบเลนส์ |
กระจกแบบคอนเดนเซอร์ไฟฟ้า 2 ขั้นตอน เลนส์เป้าหมายไฟฟ้าแม่เหล็ก 1 ขั้นตอน |
| ช่องเปิด |
- |
ปรับไดอฟรากม์ไอริส 30/50/50/100um เปลี่ยนไฟฟ้าเพื่อได้รับภาพความละเอียดสูง |
| ระบบสูญเสีย |
ปั๊มหมุน 100 ลิตร/นาที ปั๊มโมเลกุลทอร์โบ 70 ลิตร/วินาที ปั๊มลง Ttime <3 นาที ระบบควบคุมความว่างแบบอัตโนมัติ |
| เครื่องตรวจจับ |
SE: เครื่องตรวจจับอิเล็กตรอนระดับสอง |
| BSE: เครื่องตรวจจับการกระจายกลับ (ไม่จําเป็น) |
| EDS: (ไม่จําเป็น) |
| ขั้นตอนการทํางานของตัวอย่าง |
3 แกน ระบบแกน X, Y: 35mm / แกน R: 360° |
ระบบ 5 แกน: แกน X, Y: 35 มม / แกน R: 360 °, Z: 0 ~ 22 มม / แกนอ้าง: 0 ~ 45 ° |
| ตัวอย่างสูงสุด |
กว้าง 70 มิลลิเมตร ความสูง 30 มิลลิเมตร |
กว้าง 80 มิลลิเมตร ความสูง 35 มิลลิเมตร |
| การเปลี่ยนภาพ |
X, Y Image Shift ± 150um |
| ระบบสแกนภาพ |
การสแกนเร็ว: 320x240 (เวลาสแกน: 0.1 วินาที) สแกนช้า: 640x480 (เวลาสแกน: 3 วินาที) รูปแบบ 1: 1280x960 รูปแบบ 2: 2560x1920 รูปแบบ 3: 5120x3840 |
| รูปแบบภาพ |
BMP JPEG PNG TIFF |
| ปฏิบัติการอัตโนมัติ |
อัตโนมัติเริ่มต้น, อัตโนมัติโฟกัส, อัตโนมัติความสว่าง/ความแตกต่าง |
| ภาพแสดง |
การขยายขนาด ประเภทตัวตรวจจับ ความกระชับความแรงเร่ง รูปแบบ Vakuum โลโก้ (Text) วันที่และเวลา เครื่องหมายข้อความ สตาร์ขนาด เป็นต้น |
| คอมพิวเตอร์และโปรแกรม |
ระบบ PC Work Station Win 10 พร้อมโปรแกรมวิเคราะห์ภาพมืออาชีพ เพื่อควบคุมการทํางานของไมโครสโกป SEM ทั้งหมดมอนิเตอร์ LCD 24 นิ้ว IPS, 500G แฮร์ดดิสก์, หนู, คีย์บอร์ด |
| ขนาดและน้ําหนัก |
หน่วยไมโครสโกป 460x600x950 มิลลิเมตร น้ําหนักรวม 95 กิโลกรัม |
| เอ 637006, A63.7015 เครื่องมือและชิ้นส่วนมาตรฐาน Outfit |
| 1 |
สายใยวอล์ฟกรัมต์ที่ตั้งใจก่อน |
3 ชิ้น/กล่อง |
| 2 |
ช่องฉากตัวอย่าง 15 มม |
5 ชิ้น |
| 3 |
กว้างของระยะตัวอย่าง 25 มม. |
5 ชิ้น |
| 4 |
กว้างระยะตัวอย่าง 15 มม. |
3 ชิ้น |
| 5 |
กว้างระยะตัวอย่าง 15 มิลลิเมตร |
3 ชิ้น |
| 6 |
ความสูงมาตรฐาน |
1 บาท |
| 7 |
แอลเลน แรนช์ |
1 ชุด |
| 8 |
ซีดีของซอฟต์แวร์ SEM |
1 บาท |
| 9 |
เทปนําคาร์บอน) |
1 บาท |
| 10 |
เครื่องเลื่อย |
1 บาท |
| 11 |
อูริลาเว |
1 บาท |
| 12 |
เครื่องบด |
1 บาท |