◆ การออกแบบขนาดเล็กและถอดออกได้ ง่ายต่อการพกพาและการสอนในห้องเรียน
◆ รวมหัวตรวจจับและขั้นตอนการสแกนตัวอย่าง โครงสร้างมีเสถียรภาพมาก และป้องกันการรบกวนแข็งแกร่ง
◆ ตัวอย่างไดรฟ์แกนเดียวเข้าหาโพรบในแนวตั้งโดยอัตโนมัติ เพื่อให้ปลายเข็มตั้งฉากกับการสแกนตัวอย่าง
◆ วิธีการป้อนด้วยเข็มอัจฉริยะของการตรวจจับอัตโนมัติเซรามิกแบบเพียโซอิเล็กทริกที่ควบคุมด้วยมอเตอร์ ช่วยปกป้องโพรบและตัวอย่าง
◆ ระบบการสังเกต CCD ด้านข้าง การสังเกตสถานะการใส่เข็มโพรบแบบเรียลไทม์และตำแหน่งของพื้นที่สแกนตัวอย่างโพรบ
◆ วิธีการกันสะเทือนแบบสปริง ง่าย และปฏิบัติ ดีกันกระแทกผล
◆ ตัวแก้ไขผู้ใช้การแก้ไขแบบไม่เชิงเส้นของสแกนเนอร์ในตัว การกำหนดลักษณะนาโนเมตรและความแม่นยำในการวัดดีกว่า 98%
A61.4510 | |
โหมดการทำงาน | โหมดความสูงคงที่ โหมดกระแสคงที่ |
เส้นโค้งสเปกตรัมปัจจุบัน | IV Curve เส้นโค้งระยะทางปัจจุบัน |
ช่วงการสแกน XY | 5×5um |
ความละเอียดการสแกน XY | 0.05nm |
Z Scan Range | 1um |
Y ความละเอียดการสแกน | 0.01nm |
ความเร็วในการสแกน | 0.1Hz~62Hz |
มุมสแกน | 0~360° |
ขนาดตัวอย่าง | Φ≤68mm H≤20mm |
การย้ายเวที XY | 15×15mm |
การออกแบบที่ดูดซับแรงกระแทก | ระบบกันสะเทือนสปริง |
ระบบออปติคัล | ซูมต่อเนื่อง 1~500x |
เอาท์พุต | USB2.0/3.0 |
ซอฟต์แวร์ | รับรางวัล XP/7/8/10 |
กล้องจุลทรรศน์ | กล้องจุลทรรศน์ออปติคอล | กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอน | การสแกนด้วยกล้องจุลทรรศน์โพรบ |
ความละเอียดสูงสุด (อืม) | 0.18 | 0.00011 | 0.00008 |
ข้อสังเกต | แช่น้ำมัน 1500x | การถ่ายภาพอะตอมคาร์บอนของเพชร | การถ่ายภาพอะตอมกราไฟท์คาร์บอนลำดับสูง |
ปฏิสัมพันธ์ของโพรบกับตัวอย่าง | วัดสัญญาณ | ข้อมูล |
บังคับ | แรงไฟฟ้าสถิต | รูปร่าง |
กระแสอุโมงค์ | หมุนเวียน | รูปร่างการนำไฟฟ้า |
แรงแม่เหล็ก | เฟส | โครงสร้างแม่เหล็ก |
แรงไฟฟ้าสถิต | เฟส | การกระจายค่าใช้จ่าย |
ปณิธาน | สภาพการทำงาน | อุณหภูมิในการทำงาน | สร้างความเสียหายให้กับตัวอย่าง | ความลึกของการตรวจสอบ | |
SPM | ระดับอะตอม 0.1nm | ปกติ ของเหลว สุญญากาศ | ห้องหรืออุณหภูมิต่ำ | ไม่มี | ระดับอะตอม 1~2 |
TEM | จุด 0.3~0.5nm ตาข่าย 0.1 ~ 0.2nm |
สูญญากาศสูง | อุณหภูมิห้อง | เล็ก | โดยปกติ <100nm |
SEM | 6-10 นาโนเมตร | สูญญากาศสูง | อุณหภูมิห้อง | เล็ก | 10mm @10x 1um @ 10000x |
FIM | ระดับอะตอม 0.1nm | สูญญากาศสูงพิเศษ | 30~80K | ดาเมจ | ความหนาของอะตอม |