| ข้อมูลจำเพาะของแท่นวาง | |
| อุปกรณ์มาตรฐาน | แท่นวางอินเตอร์เฟอโรมิเตอร์เลเซอร์ |
| ระยะการเคลื่อนที่ของแท่นวาง | น้อยกว่าหรือเท่ากับ105 มม. |
| ข้อมูลจำเพาะของปืนอิเล็กตรอนและการสร้างภาพ | |
| ปืนปล่อยสนาม Schottky | แรงดันไฟฟ้าเร่ง 20V~ 30kV ตัวตรวจจับอิเล็กตรอนทุติยภูมิและ ตัวตรวจจับอิเล็กตรอนในเลนส์ |
| ความละเอียดของภาพ | น้อยกว่าหรือเท่ากับ1 นาโนเมตร @ 15kV; น้อยกว่าหรือเท่ากับ1.5 นาโนเมตร @ 1kV |
| ความหนาแน่นกระแสลำแสง | มากกว่า 5300 A/cm2 |
| ขนาดจุดลำแสงต่ำสุด | น้อยกว่าหรือเท่ากับ2 นาโนเมตร |
| ข้อมูลจำเพาะของการพิมพ์ลาย | |
| ชัตเตอร์ลำอิเล็กตรอน | เวลาเพิ่มขึ้น น้อยกว่า 100 นาโนวินาที |
| สนามการเขียน | น้อยกว่าหรือเท่ากับ500x500 ไมโครเมตร |
| ความกว้างเส้นลายการเปิดรับแสงเดี่ยวต่ำสุด | 10±2 นาโนเมตร |
| ความเร็วในการสแกน | 25 เมกะเฮิรตซ์/ 50 เมกะเฮิรตซ์ |
| พารามิเตอร์ตัวสร้างกราฟิก | |
| แกนควบคุม | FPGA ประสิทธิภาพสูง |
| ความเร็วในการสแกนสูงสุด | 50 เมกะเฮิรตซ์ |
| ความละเอียด D/A | 20 บิต |
| ขนาดสนามการเขียนที่รองรับ | 10 ไมโครเมตร~500 ไมโครเมตร |
| การรองรับชัตเตอร์ลำแสง | 5VTTL |
| ส่วนเพิ่มเวลาพักต่ำสุด | 10 นาโนวินาที |
| รูปแบบไฟล์ที่รองรับ | GDSIl, DXF, BMP, เป็นต้น |
| การวัดกระแสลำแสงด้วยถ้วยฟาราเดย์ | รวมอยู่ด้วย |
| การแก้ไขผลกระทบจากความใกล้เคียง | ตัวเลือก |
| แท่นวางอินเตอร์เฟอโรมิเตอร์เลเซอร์ | ตัวเลือก |
| โหมดการสแกน | ลำดับ (Z-type), คดเคี้ยว (S-type), เกลียว และโหมดการสแกนแบบเวกเตอร์อื่นๆ |
| โหมดการเปิดรับแสง | รองรับการสอบเทียบสนาม, การต่อสนาม, การซ้อนทับ และการเปิดรับแสงอัตโนมัติหลายชั้น |
| การรองรับช่องสัญญาณภายนอก | รองรับการสแกนลำอิเล็กตรอน, การเคลื่อนที่ของแท่นวาง, การควบคุมชัตเตอร์ลำแสง และการตรวจจับอิเล็กตรอนทุติยภูมิ |
|
|
แท่นวางอินเตอร์เฟอโรมิเตอร์เลเซอร์ แท่นวางอินเตอร์เฟอโรมิเตอร์เลเซอร์: แท่นวางอินเตอร์เฟอโรมิเตอร์เลเซอร์ขั้นสูงที่ตรงตามข้อกำหนดสำหรับการต่อและการซ้อนทับที่มีระยะการเคลื่อนที่มากและมีความแม่นยำสูง |
|
ปืนปล่อยสนาม ปืนปล่อยสนามความละเอียดสูงเป็นสิ่งสำคัญในการรับประกันคุณภาพของการพิมพ์ลาย |
|
|
|
ตัวสร้างกราฟิก บรรลุความละเอียดสูงพิเศษการวาดลวดลายพร้อมกับการสแกนความเร็วสูงพิเศษA63.7010 VS Raith 150 Two |
| รุ่นอุปกรณ์ | ||
| OPTO-EDU A63.7010 (จีน) | Raith 150 Two (เยอรมนี) | แรงดันไฟฟ้าเร่ง (kV) |
| 30 | เส้นผ่านศูนย์กลางจุดลำแสงต่ำสุด (นาโนเมตร) | เส้นผ่านศูนย์กลางจุดลำแสงต่ำสุด (นาโนเมตร) |
| 2 | 1.6 | ขนาดแท่นวาง (นิ้ว) |
| 4 | ความกว้างเส้นลายต่ำสุด (นาโนเมตร) | ความกว้างเส้นลายต่ำสุด (นาโนเมตร) |
| 10 | 8 | ความแม่นยำในการต่อ (นาโนเมตร) |
| 50(35 นาโนเมตร) | 35 | |
| 50(35 นาโนเมตร) | 35 | |