A63.7004 กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบสแกนตั้งโต๊ะ (SEM) อัปเกรดปืนจากทังสเตนเป็น LaB6รวมเทคโนโลยีที่เป็นนวัตกรรมมากมาย ไม่เพียงแต่มอบประสิทธิภาพการถ่ายภาพที่ยอดเยี่ยมเท่านั้น แต่ยังพกพาได้อีกด้วย ตอบสนองความต้องการใช้งานที่หลากหลาย ทั้งในประเทศและต่างประเทศ ซีรีส์ ZEM พร้อมตำแหน่งระดับไฮเอนด์และรุ่นต่างๆ ได้บรรลุมาตรฐานขั้นสูงในด้านความคมชัดของภาพ ความเป็นมิตรต่อผู้ใช้ และการรวมระบบ
A63.7004มีชื่อเสียงในด้านการบูรณาการระดับสูงและตัวเลือกการกำหนดค่าที่ยืดหยุ่น อินเทอร์เฟซผู้ใช้งานนั้นเรียบง่าย เรียนรู้และใช้งานง่าย ทำให้แม้แต่ผู้ใช้ที่ไม่เชี่ยวชาญก็สามารถเชี่ยวชาญได้อย่างรวดเร็ว ซอฟต์แวร์ที่มาพร้อมกันรองรับเวิร์กโฟลว์ทั้งหมด ตั้งแต่การเตรียมตัวอย่าง การปรับพารามิเตอร์ ไปจนถึงการวิเคราะห์ภาพ มอบโซลูชันที่บูรณาการและมีประสิทธิภาพA63.7004ได้แสดงให้เห็นถึงความสามารถในการวิเคราะห์ที่แข็งแกร่งในหลายสาขา เช่น วัสดุใหม่ พลังงานใหม่ ชีวการแพทย์ และเซมิคอนดักเตอร์ ช่วยเหลือนักวิจัยในการสำรวจความลึกลับของโลกจุลทรรศน์ เนื่องจากอัตราส่วนต้นทุนต่อประสิทธิภาพที่ยอดเยี่ยม ซีรีส์ ZEM จึงกลายเป็นตัวเลือกที่ต้องการสำหรับมหาวิทยาลัย สถาบันวิจัย และองค์กรหลายแห่งที่กำลังมองหากล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบสแกนตั้งโต๊ะ
SEM แบบตั้งโต๊ะ A63.7004 ใช้แรงดันไฟฟ้าเร่งที่หลากหลายยิ่งขึ้น ขั้นตอน 1Kv และกำลังขยายสูงสุด 360,000x พร้อมความละเอียดสูงสุด 5nm โหมดลดความเร็วบนโต๊ะช่วยให้สังเกตผลิตภัณฑ์ที่มีการนำไฟฟ้าต่ำได้แบบเรียลไทม์โดยไม่ต้องพ่นทอง ช่องใส่ตัวอย่างขนาดใหญ่พิเศษสามารถรวมเข้ากับแพลตฟอร์มขยายในแหล่งกำเนิดได้หลากหลายเพื่อตอบสนองความต้องการในการทดลองและการตรวจสอบที่แตกต่างกัน |
สภาพการทำงาน: ข้อกำหนดด้านสิ่งแวดล้อม: ขนาดเล็ก เครื่องทั้งหมดสามารถวางบนโต๊ะปฏิบัติการทั่วไปได้ ไม่จำเป็นต้องติดตั้งโต๊ะดูดซับแรงกระแทกเพิ่มเติม 1. แหล่งจ่ายไฟ 220V, 50Hz, 1KW 2. อุณหภูมิ: อุณหภูมิแวดล้อมในการทำงาน: 15°C-30°C 3. ความชื้น:<80%RH |
ข้อมูลจำเพาะหลัก: 1. แรงดันไฟฟ้าเร่ง: 3-20kV ปรับได้ต่อเนื่อง 2. ประเภทปืนอิเล็กตรอน: ไส้หลอด LaB6 คริสตัลเดี่ยวที่จัดเรียงไว้ล่วงหน้า อายุการใช้งาน 1500 ชั่วโมง เลนส์ปืนสองขั้นตอนที่รวมเข้าด้วยกันสูง ไม่จำเป็นต้องปรับไดอะแฟรมของเลนส์วัตถุด้วยตนเอง 3. กำลังขยาย ≥360000X; 4. ความละเอียด:≤3nm@20KV 5. ตัวตรวจจับ: ตัวตรวจจับอิเล็กตรอนทุติยภูมิ (SE), ตัวตรวจจับการกระเจิงกลับสี่เท่า (BSE) 6. แท่นวาง: แท่นวางมอเตอร์ 2 แกน XY, เคลื่อนที่ 60x55 มม.; 7. ขนาดตัวอย่างสูงสุด: 100*78*68.5 มม. ในขณะที่แกน XY เคลื่อนที่ได้อย่างอิสระ 8. การเปลี่ยนตัวอย่างและเวลาปั๊มสุญญากาศสูง≤ 90 วินาที 9. ระบบสุญญากาศสูง: ปั๊มกลไก, ปั๊มเทอร์โบโมเลกุล, ปั๊มไอออน, สุญญากาศในห้องตัวอย่าง ≥4x10-2Pa, การควบคุมอัตโนมัติเต็มรูปแบบ 10. โหมดวิดีโอ ≥512x512 พิกเซล ไม่จำเป็นต้องสแกนหน้าต่างขนาดเล็ก 11. โหมดสแกนด่วน: เวลาถ่ายภาพ≤3 วินาที, 512x512 พิกเซล 12. โหมดสแกนช้า: เวลาถ่ายภาพ≤40 วินาที, 2048x2048 พิกเซล 13. ไฟล์รูปภาพ: BMP, TIFF, JPEG, PNG 14. การปรับความสว่างและความคมชัดอัตโนมัติด้วยปุ่มเดียว, โฟกัสอัตโนมัติ, การเย็บภาพขนาดใหญ่ 15. ฟังก์ชันนำทาง: การนำทางด้วยกล้องออปติคัลและกล้องในห้องโดยสาร 16. ฟังก์ชันการวัดภาพ: ระยะทาง มุม ฯลฯ 17. รวมถึงคอมพิวเตอร์และซอฟต์แวร์ การควบคุมด้วยเมาส์ 18. ตัวเลือก: --ไส้หลอดทังสเตน (20 ชิ้น/กล่อง) --EDS --แท่นวางมอเตอร์ 3 แกน XYZ --แท่นวางมอเตอร์ 3 แกน XYT --แท่นวางมอเตอร์ 5 แกน XYZRT --สุญญากาศต่ำ (1-60Pa) --แท่นวางในแหล่งกำเนิดจากโรงงานเดิม การให้ความร้อน การทำความเย็น การยืด ฯลฯ --โหมดลดความเร็ว 1-10KV สามารถสังเกตตัวอย่างที่ไม่นำไฟฟ้าหรือไม่นำไฟฟ้าได้ไม่ดีโดยไม่ต้องพ่นทอง เฉพาะสำหรับโหมด BSE --แพลตฟอร์มดูดซับแรงกระแทก (แนะนำสำหรับ A63.7004) 19. ขนาดกล้องจุลทรรศน์ 650*370*642 มม. ขนาดปั๊มกลไก 340*160*140 มม. |
รุ่น | A63.7001 | A63.7002 | A63.7003 | A63.7004 | A63.7005 |
ความละเอียด | 10nm@15KV | 6nm@18KV | 4nm@20KV | 3nm@20KV | 2.5nm@15KV |
กำลังขยาย | 150000x | 200000x | 360000x | 360000x | 1000000x |
ปืนอิเล็กตรอน | ทังสเตน | ทังสเตน | ทังสเตน | LaB6 | Schotty FEG |
แรงดันไฟฟ้า | 5/10/15KV | 3-18KV | 3-20KV | 3-20KV | 1-15KV |
ตัวตรวจจับ | BSE+SE | BSE+SE | BSE+SE | BSE+SE | BSE+SE |
การนำทาง CCD | CCD | CCD | CCD+กล้องในห้องโดยสาร | CCD+กล้องในห้องโดยสาร | CCD+กล้องในห้องโดยสาร |
เวลาสุญญากาศ | 90 วินาที | 90 วินาที | 30 วินาที | 90 วินาที | 180 วินาที |
ระบบสุญญากาศ | ปั๊มกลไก ปั๊มโมเลกุล |
ปั๊มกลไก ปั๊มโมเลกุล |
ปั๊มกลไก ปั๊มโมเลกุล |
ปั๊มกลไก ปั๊มโมเลกุล ปั๊มไอออน |
ปั๊มกลไก ปั๊มโมเลกุล ปั๊มไอออน x2 |
สุญญากาศ | สุญญากาศสูง 1x10-1Pa |
สุญญากาศสูง 1x10-1Pa |
สุญญากาศสูง 1x10-1Pa |
สุญญากาศสูง 5x10-4Pa |
สุญญากาศสูง 5x10-4Pa |
แท่นวาง | แท่นวาง XY, 40x30/40x40 มม. |
แท่นวาง XY, 40x30/40x40 มม. |
แท่นวาง XY, 60x55 มม. |
แท่นวาง XY, 60x55 มม. |
แท่นวาง XY, 60x55 มม. |
ความแม่นยำของแท่นวาง | - | ตำแหน่งแม่นยำ 5um | |||
ระยะการทำงาน | 5-35 มม. | 5-35 มม. | 5-73.4 มม. | 5-73.4 มม. | 5-73.4 มม. |
ตัวอย่างสูงสุด | 80x42x40 มม. | 80x42x40 มม. | 100x78x68.5 มม. | 100x78x68.5 มม. | 100x78x68.5 มม. |
ตัวเลือก | ไส้หลอดทังสเตน 20 ชิ้น/กล่อง | ไส้หลอด Lab6 | หลอดปล่อยสนาม | ||
EDS Oxford AZtecOne พร้อม XploreCompact 30 | |||||
- | สุญญากาศต่ำ 1-100Pa | สุญญากาศต่ำ 1-30Pa | |||
- | โมดูลแกน Z | แท่นวาง 3 แกน, X 60 มม., Y 50 มม., Z 25 มม. | |||
- | โมดูลแกน T | แท่นวาง 3 แกน, X 60 มม., Y 50 มม., T ±20° | |||
- | - | แท่นวาง 5 แกน, X 90 มม., Y 50 มม., Z 25 มม., T ±20°, R 360° | |||
- | - | แพลตฟอร์มดูดซับแรงกระแทก สำหรับแท่นวาง 3 แกน, 5 แกน | |||
- | โหมดลดความเร็ว 1-10KV เพื่อดูตัวอย่างที่ไม่นำไฟฟ้า เฉพาะสำหรับ BSE | ||||
- | แท่นวางในแหล่งกำเนิดจากโรงงานเดิม การให้ความร้อน การทำความเย็น การยืด ฯลฯ | ||||
UPS |
▶ AZtecOne พร้อม XploreCompact 30 สำหรับ TTM
การวิเคราะห์ EDS แบบดั้งเดิมของระบบ ระบบให้การวิเคราะห์เชิงคุณภาพและเชิงปริมาณของวัสดุต่างๆ โดยวิเคราะห์องค์ประกอบตั้งแต่ B(5) ถึง cf (98) นอกเหนือจากการสแกนจุดแต่ละจุดของพื้นผิวตัวอย่างแล้ว ยังมีการสแกนเส้นและการสแกนสเปกตรัมองค์ประกอบที่มีประสิทธิภาพอีกด้วย เมื่อรวมกับตัวตรวจจับที่ปรับแต่งเอง การวิเคราะห์และการรายงานสามารถทำได้ภายในไม่กี่วินาที |
พื้นที่คริสตัลที่มีประสิทธิภาพ | 30mm2 | ความละเอียด (ของภาพถ่าย) | Mn Ka <129eV @50,000cps |
ช่วงการตรวจจับองค์ประกอบ | B (5) ถึง cf (98) | อัตราการนับอินพุตสูงสุด | >1,000,000 cps |