A63.7003 กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบสแกนบนโต๊ะ (SEM)รวมเทคโนโลยีที่เป็นนวัตกรรมมากมาย ไม่เพียงแต่มอบประสิทธิภาพการถ่ายภาพที่ยอดเยี่ยมเท่านั้น แต่ยังพกพาได้อีกด้วย ตอบสนองความต้องการในการใช้งานที่หลากหลาย ทั้งในประเทศและต่างประเทศ ซีรีส์ ZEM พร้อมตำแหน่งระดับไฮเอนด์และรุ่นต่างๆ ได้บรรลุมาตรฐานขั้นสูงในด้านความคมชัดของภาพ ความเป็นมิตรต่อผู้ใช้ และการรวมระบบ
A63.7003มีชื่อเสียงในด้านการบูรณาการระดับสูงและตัวเลือกการกำหนดค่าที่ยืดหยุ่น อินเทอร์เฟซผู้ใช้เรียบง่าย ใช้งานง่าย และใช้งานได้ ทำให้ผู้ใช้ที่ไม่เชี่ยวชาญสามารถทำความเข้าใจได้อย่างรวดเร็ว ซอฟต์แวร์ที่มาพร้อมกันรองรับเวิร์กโฟลว์ทั้งหมด ตั้งแต่การเตรียมตัวอย่าง การปรับพารามิเตอร์ ไปจนถึงการวิเคราะห์ภาพ มอบโซลูชันแบบบูรณาการและมีประสิทธิภาพA63.7003ได้แสดงให้เห็นถึงความสามารถในการวิเคราะห์ที่แข็งแกร่งในหลายสาขา เช่น วัสดุใหม่ พลังงานใหม่ ชีวเวชศาสตร์ และเซมิคอนดักเตอร์ ช่วยเหลือนักวิจัยในการสำรวจความลึกลับของโลกจุลทรรศน์ เนื่องจากอัตราส่วนต้นทุนต่อประสิทธิภาพที่ยอดเยี่ยม ซีรีส์ ZEM จึงกลายเป็นตัวเลือกที่ต้องการสำหรับมหาวิทยาลัย สถาบันวิจัย และองค์กรต่างๆ ที่กำลังมองหากล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบสแกนบนโต๊ะ
A63.7003 benchtop SEM ใช้แรงดันไฟฟ้าเร่งที่หลากหลายขึ้น 1Kvsteps และกำลังขยายสูงสุด 360,000x พร้อมความละเอียดสูงสุด 5nm โหมดลดความเร็วบนโต๊ะช่วยให้สังเกตผลิตภัณฑ์ที่มีการนำไฟฟ้าต่ำได้แบบเรียลไทม์โดยไม่ต้องพ่นทองคำ ช่องใส่ตัวอย่างขนาดใหญ่พิเศษสามารถรวมเข้ากับแพลตฟอร์มขยายในแหล่งกำเนิดได้หลากหลายเพื่อตอบสนองความต้องการในการทดลองและการตรวจสอบที่แตกต่างกัน |
สภาพการทำงาน: ข้อกำหนดด้านสิ่งแวดล้อม: ขนาดเล็ก เครื่องทั้งหมดสามารถวางบนโต๊ะปฏิบัติการทั่วไปได้ ไม่จำเป็นต้องติดตั้งโต๊ะดูดซับแรงกระแทกเพิ่มเติม 1. แหล่งจ่ายไฟ 220V, 50Hz, 1KW 2. อุณหภูมิ: อุณหภูมิแวดล้อมในการทำงาน: 15°C-30°C 3. ความชื้น:<80%RH |
ข้อมูลจำเพาะหลัก: 1. แรงดันไฟฟ้าเร่ง: 3-20kV ปรับได้ต่อเนื่อง 2. ประเภทปืนอิเล็กตรอน: ไส้หลอดทังสเตนที่จัดตำแหน่งไว้ล่วงหน้า อายุการใช้งาน 100 ชั่วโมง เปลี่ยนได้ง่ายโดยผู้ใช้ เลนส์ปืนสองขั้นตอนแบบบูรณาการสูง ไม่จำเป็นต้องปรับไดอะแฟรมของเลนส์วัตถุด้วยตนเอง 3. กำลังขยาย ≥360000X; 4. ความละเอียด:≤4nm@20KV 5. ตัวตรวจจับ: ตัวตรวจจับอิเล็กตรอนทุติยภูมิ (SE), ตัวตรวจจับการกระเจิงกลับแบบสี่เท่า (BSE), 6. แท่น: แท่นมอเตอร์ 2 แกน XY, เคลื่อนที่ 60x55 มม.; 7. ขนาดตัวอย่างสูงสุด: 100*78*68.5 มม. ในขณะที่แกน XY เคลื่อนที่ได้อย่างอิสระ 8. การเปลี่ยนตัวอย่างและเวลาในการปั๊มสุญญากาศสูง≤ 30 วินาที 9. ระบบสุญญากาศสูง: ปั๊มเทอร์โบโมเลกุลในตัว, ปั๊มกลไกภายนอก, สุญญากาศในห้องตัวอย่าง ≥1x10-1Pa, การควบคุมอัตโนมัติเต็มรูปแบบ; 10. โหมดวิดีโอ ≥512x512 พิกเซล ไม่จำเป็นต้องสแกนหน้าต่างขนาดเล็ก 11. โหมดสแกนด่วน: เวลาในการถ่ายภาพ≤3 วินาที, 512x512 พิกเซล 12. โหมดสแกนช้า: เวลาในการถ่ายภาพ≤40 วินาที, 2048x2048 พิกเซล 13. ไฟล์ภาพ: BMP, TIFF, JPEG, PNG 14. การปรับความสว่างและความคมชัดอัตโนมัติด้วยปุ่มเดียว, โฟกัสอัตโนมัติ, การเย็บภาพขนาดใหญ่ 15. ฟังก์ชันการนำทาง: การนำทางด้วยกล้องออปติคัลและกล้องในห้องโดยสาร 16. ฟังก์ชันการวัดภาพ: ระยะทาง มุม ฯลฯ 17. รวมถึงคอมพิวเตอร์ & ซอฟต์แวร์, การควบคุมด้วยเมาส์ 18. เสริม: --ไส้หลอดทังสเตน (20 ชิ้น/กล่อง) --EDS --แท่นมอเตอร์ 3 แกน XYZ --แท่นมอเตอร์ 3 แกน XYT --แท่นมอเตอร์ 5 แกน XYZRT --สุญญากาศต่ำ (1-100Pa) --โหมดลดความเร็ว, 1-10KV, สามารถสังเกตตัวอย่างที่ไม่นำไฟฟ้าหรือไม่นำไฟฟ้าได้ไม่ดีโดยไม่ต้องพ่นทองคำ เฉพาะสำหรับโหมด BSE --แท่น In-Situ จากโรงงานเดิม, การให้ความร้อน, การทำความเย็น, การยืด ฯลฯ --แพลตฟอร์มดูดซับแรงกระแทก (แนะนำสำหรับ A63.7003) 19. ขนาดกล้องจุลทรรศน์ 650*370*642 มม., ขนาดปั๊มกลไก 340*160*140 มม. |
รุ่น | A63.7001 | A63.7002 | A63.7003 | A63.7004 | A63.7005 |
ความละเอียด | 10nm@15KV | 6nm@18KV | 4nm@20KV | 3nm@20KV | 2.5nm@15KV |
กำลังขยาย | 150000x | 200000x | 360000x | 360000x | 1000000x |
ปืนอิเล็กตรอน | ทังสเตน | ทังสเตน | ทังสเตน | LaB6 | Schotty FEG |
แรงดันไฟฟ้า | 5/10/15KV | 3-18KV | 3-20KV | 3-20KV | 1-15KV |
ตัวตรวจจับ | BSE+SE | BSE+SE | BSE+SE | BSE+SE | BSE+SE |
CCD นำทาง | CCD | CCD | CCD+กล้องในห้องโดยสาร | CCD+กล้องในห้องโดยสาร | CCD+กล้องในห้องโดยสาร |
เวลาสุญญากาศ | 90 วินาที | 90 วินาที | 30 วินาที | 90 วินาที | 180 วินาที |
ระบบสุญญากาศ | ปั๊มกลไก ปั๊มโมเลกุล |
ปั๊มกลไก ปั๊มโมเลกุล |
ปั๊มกลไก ปั๊มโมเลกุล |
ปั๊มกลไก ปั๊มโมเลกุล ปั๊มไอออน |
ปั๊มกลไก ปั๊มโมเลกุล ปั๊มไอออน x2 |
สุญญากาศ | สุญญากาศสูง 1x10-1Pa |
สุญญากาศสูง 1x10-1Pa |
สุญญากาศสูง 1x10-1Pa |
สุญญากาศสูง 5x10-4Pa |
สุญญากาศสูง 5x10-4Pa |
แท่น | แท่น XY, 40x30/40x40 มม. |
แท่น XY, 40x30/40x40 มม. |
แท่น XY, 60x55 มม. |
แท่น XY, 60x55 มม. |
แท่น XY, 60x55 มม. |
ความแม่นยำของแท่น | - | ตำแหน่งแม่นยำ 5um | |||
ระยะการทำงาน | 5-35 มม. | 5-35 มม. | 5-73.4 มม. | 5-73.4 มม. | 5-73.4 มม. |
ตัวอย่างสูงสุด | 80x42x40 มม. | 80x42x40 มม. | 100x78x68.5 มม. | 100x78x68.5 มม. | 100x78x68.5 มม. |
เสริม | ไส้หลอดทังสเตน 20 ชิ้น/กล่อง | ไส้หลอด Lab6 | หลอดปล่อยสนาม | ||
EDS Oxford AZtecOne พร้อม XploreCompact 30 | |||||
- | สุญญากาศต่ำ 1-100Pa | สุญญากาศต่ำ 1-30Pa | |||
- | โมดูล Z Axis | แท่น 3 แกน, X 60 มม., Y 50 มม., Z 25 มม. | |||
- | โมดูล T Axis | แท่น 3 แกน, X 60 มม., Y 50 มม., T ±20° | |||
- | - | แท่น 5 แกน, X 90 มม., Y 50 มม., Z 25 มม., T ±20°, R 360° | |||
- | - | แพลตฟอร์มดูดซับแรงกระแทก, สำหรับแท่น 3 แกน, 5 แกน | |||
- | โหมดลดความเร็ว 1-10KV เพื่อดูตัวอย่างที่ไม่นำไฟฟ้า เฉพาะสำหรับ BSE | ||||
- | แท่น In-Situ จากโรงงานเดิม, การให้ความร้อน, การทำความเย็น, การยืด ฯลฯ | ||||
UPS |
▶ AZtecOne พร้อม XploreCompact 30 สำหรับ TTM
การวิเคราะห์ EDS แบบดั้งเดิมของระบบ ระบบให้การวิเคราะห์เชิงคุณภาพและเชิงปริมาณของวัสดุต่างๆ โดยวิเคราะห์องค์ประกอบตั้งแต่ B(5) ถึง cf (98) นอกจากนี้ นอกเหนือจากการสแกนจุดแต่ละจุดของพื้นผิวตัวอย่างแล้ว ยังมีการสแกนเส้นและสเปกตรัมองค์ประกอบที่มีประสิทธิภาพอีกด้วย เมื่อรวมกับตัวตรวจจับที่ปรับแต่งเอง การวิเคราะห์และการรายงานสามารถทำได้ภายในไม่กี่วินาที |
พื้นที่คริสตัลที่มีประสิทธิภาพ | 30mm2 | ความละเอียด (ของภาพถ่าย) | Mn Ka <129eV @50,000cps |
ช่วงการตรวจจับองค์ประกอบ | B (5) ถึง cf (98) | อัตราการนับอินพุตสูงสุด | >1,000,000 cps |