ผลงานที่โดดเด่น การถ่ายภาพความเร็วสูง สัญญาณที่หลากหลายZEM18 เครื่องสแกนอิเล็กตรอนจุลินทรีย์บนโต๊ะ ขนาดความกว้างของสัญญาณในการสแกนสูงถึง 10M ความเร็วการสแกนที่เร็วรูปแบบวีดีโอ การสังเกตตัวอย่างในเวลาจริง, ไม่มี ghosting, ดึง, ไม่พลาดทุกรายละเอียด. เป็นที่สอดคล้องกับความหลากหลายของ ZEP.TOOLS ในสถานที่
ข้อมูลหลัก: 1โลตติจ์เร่ง: 3-18kV ปรับต่อเนื่อง 2ประเภทปืนอิเล็กตรอน: ไฟล์ทองสแตนที่ปรับตัวไปก่อน, เวลาใช้งาน 100 ชั่วโมง, ใช้งานง่ายในการเปลี่ยนโดยผู้ใช้, เลนส์ปืนสองระดับที่บูรณาการสูง, ไม่จําเป็นต้องปรับแหลมของเลนส์เป้าหมายด้วยมือ 3การขยาย ≥200000X; 4การแก้ไข:≤6nm@18KV 5เครื่องตรวจจับ: เครื่องตรวจจับอิเล็กตรอนรอง (SE), เครื่องตรวจจับสี่ตัว (BSE), 6. สเตจ: 2 แกน XY สเตจขับเคลื่อน 40x30 มิลลิเมตร (40x40 มิลลิเมตร optional); 7ขนาดตัวอย่างสูงสุด: 80x42x40mm 8. การเปลี่ยนตัวอย่างและเวลาปั๊มระยะเวลากระยะว่างสูง ≤ 90s 9ระบบสูบสูบสูง: พั๊มโมเลกุลทอร์โบที่ติดตั้ง, พั๊มกลไกภายนอก, ความสูบสูบในห้องตัวอย่าง ≥1x10-1Pa, การควบคุมอัตโนมัติเต็ม 10วิดีโอโหมด ≥512x512 พิกเซล ไม่จําเป็นต้องสแกนหน้าต่างเล็ก 11. รูปแบบสแกนรวดเร็ว: เวลาถ่ายภาพ≤3s, 512x512 พิกเซล 12โหมดสแกนช้า: เวลาถ่ายภาพ≤40s, 2048x2048 พิกเซล 13ไฟล์ภาพ: BMP, TIFF, JPEG, PNG 14. การปรับความสว่างและความแตกต่างด้วยกุญแจเดียว โดยอัตโนมัติ, การฟอกัสอัตโนมัติ, การเย็บภาพขนาดใหญ่ 15.ฟังก์ชันการนําทาง: การนําทางด้วยกล้องแสง และกล้องในห้อง 16.ฟังก์ชันการวัดภาพ: ระยะทาง มุม เป็นต้น 17รวมถึงคอมพิวเตอร์และโปรแกรม การควบคุมหนู 18ไม่ต้องเลือก: -- ไฟล์ทองกสติน (20 ชิ้น/กล่อง) --EDS -- วัคิวัมต่ํา (1-100Pa) --Z Axis, T Axis โมดูล -- รูปแบบลดความเร็ว 1-10KV สามารถสังเกตตัวอย่างที่ไม่นําไฟหรือนําไฟไม่ดี โดยไม่ต้องฉีดทองคํา --ในสถานที่ของโรงงานเดิม การทําความร้อน การทําความเย็น การขยายความยืดหยุ่น เป็นต้น 19.ขนาดไมโครสโกป: 283 * 553 * 505 มิลลิเมตร, ขนาดปั๊มกลไก 340 * 160 * 140 มิลลิเมตร |
รุ่น | เอ 637001 | เอ 637002 | เอ 637003 | เอ 637004 | เอ 637005 |
การแก้ไข | 10nm@15KV | 6nm@18KV | 4nm@20KV | 3nm@20KV | 2.5nm@15KV |
การขยายขนาด | 150000x | 200000x | 360000x | 360000x | 1000000x |
ปืนอิเล็กตรอน | วอล์ฟสแตน | วอล์ฟสแตน | วอล์ฟสแตน | LaB6 | โชตตี้ FEG |
โวลเตชั่น | 5/10/15KV | 3-18KV | 3-20KV | 3-20KV | 1-15KV |
เครื่องตรวจจับ | BSE+SE | BSE+SE | BSE+SE | BSE+SE | BSE+SE |
CCD การนําทาง | CCD | CCD | CCD+กล้องในห้องบิน | CCD+กล้องในห้องบิน | CCD+กล้องในห้องบิน |
เวลาว่าง | ปี 90 | ปี 90 | ปี 30 | ปี 90 | 180s |
ระบบแวกลื่น | ปั๊มกลไก ปั๊มโมเลกุล |
ปั๊มกลไก ปั๊มโมเลกุล |
ปั๊มกลไก ปั๊มโมเลกุล |
ปั๊มกลไก ปั๊มโมเลกุล ปั๊มไอออน |
ปั๊มกลไก ปั๊มโมเลกุล ปั๊มไอออน x2 |
วัคคัม | วัคคัมสูง 1x10-1Pa |
วัคคัมสูง 1x10-1Pa |
วัคคัมสูง 1x10-1Pa |
วัคคัมสูง 5x10-4Pa |
วัคคัมสูง 5x10-4Pa |
สถานที่ | ระยะ XY 40x30/40x40 มิลลิเมตร |
ระยะ XY 40x30/40x40 มิลลิเมตร |
ระยะ XY ขนาด 60x55mm |
ระยะ XY ขนาด 60x55mm |
ระยะ XY ขนาด 60x55mm |
ความแม่นยําของเวที | - | ตําแหน่งแม่นยํา 5um | |||
ระยะทางการทํางาน | 5-35 มม. | 5-35 มม. | 5-73.4 มม. | 5-73.4 มม. | 5-73.4 มม. |
ตัวอย่างสูงสุด | 80x42x40 มิลลิเมตร | 80x42x40 มิลลิเมตร | 100x78x68.5 มิลลิเมตร | 100x78x68.5 มิลลิเมตร | 100x78x68.5 มิลลิเมตร |
ไม่จําเป็น | สายใยวอล์ฟสแตน 20 ชิ้น/กล่อง | Lab6 สายใย | โคมไฟระบายไฟ | ||
EDS Oxford AZtecOne พร้อม XploreCompact 30 | |||||
- | วัคคัมต่ํา 1-100Pa | วัคคัมต่ํา 1-30Pa | |||
- | โมดูลแกน Z | 3 แกนเวที, X 60 มม, Y 50 มม, Z 25 มม | |||
- | โมดูลแกน T | 3 แกน ขั้นตอน X 60mm, Y 50mm, T ± 20° | |||
- | - | 5 แกน ขั้นตอน X 90mm, Y 50mm, Z 25mm, T ± 20°, R 360° | |||
- | - | พลาตฟอร์มดึงกระแทก สําหรับ 3 แกน 5 แกน | |||
- | โหมดความช้า 1-10KV เพื่อเฝ้าดูตัวอย่างที่ไม่นําทาง | ||||
- | ขั้นตอนในสถานที่ จากโรงงานเดิม, การทําความร้อน, การทําความเย็น, การขยาย, ฯลฯ | ||||
UPS |
▶AZtecOne กับ XploreCompact 30 สําหรับ TTM
การวิเคราะห์ระบบการศึกษาแบบปกติ ระบบนี้สามารถทําการวิเคราะห์คุณภาพและปริมาณของวัสดุต่าง ๆ โดยวิเคราะห์องค์ประกอบตั้งแต่ B ((5) ถึง cf (98) นอกจากการสแกนจุดแต่ละจุดของพื้นผิวตัวอย่างการสแกนเส้นที่มีความแรงและการสแกนสเปคตรัลพื้นฐานยังมีอยู่. รวมไปถึงตัวตรวจจับที่กําหนดเอง การวิเคราะห์และรายงานสามารถทําในวินาที |
พื้นที่คริสตัลที่มีประสิทธิภาพ | 30mm2 | ความละเอียด (ของภาพ) | Mn Ka < 129eV @ 50,000cps |
ระยะการตรวจจับพื้นฐาน | B (5) ถึง cf (98) | อัตราการนับค่าเข้าสูงสุด | > 1000,000 cps |