รายละเอียด | เอ 637140 | เอ 637160 | |
ปริมาตรสําคัญ | การแก้ไข |
1.4nm@15kV ((SE)
2.5nm@30.0kV ((BSE)
|
0.9nm@30kV ((SE) 1.2nm@15kV ((SE) 1.5nm@1kV ((SE, BD โหมด) |
ความกระชับกําลังเร่ง | 00.02kVรางวัล30kV | 00.02kVรางวัล30kV | |
การขยายขนาด | 1รางวัล2000000x | 1รางวัล2000000x | |
ปืนอิเล็กตรอน | ปืนปล่อยสนามความร้อน Schottky | ปืนปล่อยสนามความร้อน Schottky | |
ปัจจุบันของเครื่องสํารวจ | 1pA ~ 40nA | 1pA ~ 40nA | |
สนามมอง | 6 มม. | 6 มม. | |
เวลาพัก | 20 น | 20 น | |
การบิดเบี้ยวของรังสี | -- | ระบบบิดรังขั้วไฟคู่: ระบบการสับเปลี่ยนรังไฟฟ้าและสแตติก |
|
เลนส์เลนส์ | ระบบเป้าหมายคู่ เลนส์เป้าหมายแม่เหล็ก & เลนส์เป้าหมายอิเล็กทรอสตาติก เลนส์เป้าหมายแม่เหล็ก ตัวอย่างปรับเปลี่ยน |
ระบบเป้าหมายคู่ เลนส์เป้าหมายแม่เหล็ก & เลนส์เป้าหมายอิเล็กทรอสตาติก เลนส์เป้าหมายแม่เหล็ก ตัวอย่างปรับเปลี่ยน |
|
ช่องเปิดปืน | (10μm,30μm,70μm,100μm,150μm,220μm) * 2 ชุด (1 สําหรับสํารอง) | (10μm,30μm,70μm,100μm,150μm,220μm) * 2 ชุด (1 สําหรับสํารอง) | |
สภา | ขนาดห้อง | ความกว้าง 370 มิลลิเมตร ความสูง 330 มิลลิเมตร ความลึก 344 มิลลิเมตร | ความกว้าง 370 มิลลิเมตร ความสูง 330 มิลลิเมตร ความลึก 344 มิลลิเมตร |
Port ขยาย | 10 ท่าเรือ | 10 ท่าเรือ | |
ระบบแวกลื่น | 2 ปั๊มไอออน 1 ปั๊มโมเลกุลทอร์โบ 1 น้ํามันปั๊มเครื่องจักรกล |
2 ปั๊มไอออน 1 ปั๊มโมเลกุลทอร์โบ 1 น้ํามันปั๊มเครื่องจักรกล |
|
วัคิวัมปืน: 2x10-7Pa ห้องว่าง: 6x10-4Pa |
วัคิวัมปืน: 2x10-7Pa ห้องว่าง: 6x10-4Pa |
||
สถานที่ | 5 แกน Auto Stage, X:130mm, Y:130mm, Z:60mm, R: 360 °, T: -10 °รางวัล70° ความจุสูงสุด > 500 กรัม | 5 แกน Auto Stage, X:130mm, Y:130mm, Z:60mm, R: 360 °, T: -10 °รางวัล70° ความจุสูงสุด > 500 กรัม | |
กล้อง | CCD การนําทางสีทางแสง CCD IR ความละเอียดสูง |
CCD การนําทางสีทางแสง CCD IR ความละเอียดสูง |
|
เครื่องตรวจจับและการขยาย | มาตรฐาน | เครื่องตรวจจับ SE | เครื่องตรวจจับ SE เครื่องตรวจจับ Inlens SE |
PC และโปรแกรม | คอมพิวเตอร์ | สถานที่ทํางาน เอมโมรี 16G แฮร์ดดิสก์ 512G มอนิเตอร์ 24 นิ้ว ระบบ Win10 | สถานที่ทํางาน เอมโมรี 16G แฮร์ดดิสก์ 512G มอนิเตอร์ 24 นิ้ว ระบบ Win10 |
การควบคุม | พานีลควบคุม & โจสติก | พานีลควบคุม & โจสติก | |
โปรแกรม | อัตโนมัติโฟกัส, อัตโนมัติ Stigmator, อัตโนมัติความเข้มข้นความแตกต่าง, รูปแบบภาพ TIFF,JPG,PNG,BMP, ความละเอียดออกภาพ Max 16k * 16k | อัตโนมัติโฟกัส, อัตโนมัติ Stigmator, อัตโนมัติความเข้มข้นความแตกต่าง, รูปแบบภาพ TIFF,JPG,PNG,BMP, ความละเอียดออกภาพ Max 16k * 16k | |
อุปกรณ์เสริมทางเลือก | เอ 507101 | โรค BSE | โรค BSE |
เอ 507102 | - | InLens BSE | |
เอ 507103 | สเปคโทรสโกปีการกระจายพลังงาน (EDS/EDX) | สเปคโทรสโกปีการกระจายพลังงาน (EDS/EDX) | |
เอ 507104 | รูปแบบการกระจายอิเล็กตรอนกลับ (EBSD) | รูปแบบการกระจายอิเล็กตรอนกลับ (EBSD) | |
เอ 507105 | EDS+EBSD | EDS+EBSD | |
เอ 507106 | อิเล็กตรอนการสแกนส่ง (STEM) | อิเล็กตรอนการสแกนส่ง (STEM) | |
เอ 507107 | กระแสไฟฟ้าอิเล็กตรอน-beam-induced current (EBIC) | กระแสไฟฟ้าอิเล็กตรอน-beam-induced current (EBIC) | |
เอ 507108 | คาโทโดลูมิเนสเซนซ์ (CL) | คาโทโดลูมิเนสเซนซ์ (CL) | |
เอ 507109 | พลาสมา | พลาสมา | |
เอ 507110 | ล็อคอากาศ โกดังแลกเปลี่ยนตัวอย่าง | ล็อคอากาศ โกดังแลกเปลี่ยนตัวอย่าง | |
เอ 507111 | เครื่องล้างขั้ว | เครื่องล้างขั้ว | |
เอ 507120 | โปรแกรมเย็บภาพขนาดใหญ่ | โปรแกรมเย็บภาพขนาดใหญ่ | |
เอ 507121 | โปรแกรมวิเคราะห์อนุภาค | โปรแกรมวิเคราะห์อนุภาค | |
เอ 507112 | เครื่องถือการถ่ายทอดแอกุศล | เครื่องถือการถ่ายทอดแอกุศล | |
เอ 507113 | ระบบสัมพันธ์ Raman-SEM | ระบบสัมพันธ์ Raman-SEM | |
เอ 507115 | UPS | UPS | |
เอ 507114 | - | เครื่องติดตั้งพลังงานในคอลัมน์ ExB |
▶ความสอดคล้องกันได้ดี และสามารถปรับตัวได้ดี สามารถติดตั้งได้ในเทอร์มิเนลต่างๆ เช่น คอมพิวเตอร์ โทรศัพท์มือถือ และแท็บเล็ต เพื่อควบคุมกล้องจุลินทรีย์อิเล็กตรอนระบบปฏิบัติการกล้องจุลินทรีย์อิเล็กตรอน SEM-OS นี้เข้ากันได้กับ SEM จากผู้ผลิตต่าง ๆ และเข้ากันได้กับหลายรุ่นการขยายระบบนิเวศ SEM
▶โปรแกรมและคอมพิวเตอร์ที่บูรณาการง่ายและมีประสิทธิภาพ อินเตอร์เฟซผู้ใช้งานที่รวมกัน ไม่จําเป็นต้องปรับปรุงซ้ําๆ กับเทอร์มินัลต่าง ๆอุปกรณ์อัลการ์ตูม AI เพื่อรวบรวมข้อมูล และนําเสนอผลการออกแบบในเวลาจริง ด้วยคุณภาพภาพภาพที่ชัดเจนและรายละเอียดที่โดดเด่นมากขึ้น; SEM ที่ขับเคลื่อนจากเนอร์เนล เร่งการควบคุมฮาร์ดแวร์ |
1 แผ่นเมนู 2 พื้นที่ปฏิบัติการรวดเร็ว 3 แผ่นข้อมูล 4 พื้นที่ติดตาม 5 พื้นที่นําทาง 6 พื้นที่ครบวงจร 7 พื้นที่ปฏิบัติการ 8 พื้นที่สถานะ |
มิกรอเล็กตรอนสแกน A63.7140/A63.7160 ซีรีย์พร้อมกับแท่งถ่ายถ่ายระยะว่าง IGS, EDS พลังงานพีชคณิต, พีชคณิต Raman และอุปกรณ์เสริมอื่น ๆการจัดหาทางออกที่ครบวงจรสําหรับการวิจัยแบตเตอรี่ลิเดียม จากการเตรียมตัวอย่างการสังเกตรูปร่าง การวิเคราะห์องค์ประกอบ และการวิเคราะห์โครงสร้าง |
ขั้นตอนที่ 1:ไม้ถ่ายโอนถูกบรรจุบนกล่องถุงมือ เพื่อให้การถ่ายตัวอย่างจากกล่องถุงมือไปยังช่องวางไม้ถ่ายโอนสําเร็จ
ขั้นตอนที่ 2:กระบวนการโอนตัวอย่างรวมถึงการโอนความดันบวกภายในห้องสต๊อประหว่างกระบวนการโอน
ขั้นตอนที่ 3:ไม้ถ่ายโอนถูกบรรจุบนกล้องจุลินทรีย์อิเล็กตรอน เพื่อโอนตัวอย่างจากห้องถ่ายโอนไม้ไปยังห้องหลักของกล้องจุลินทรีย์อิเล็กตรอน
ขั้นตอนที่ 4:การถ่ายตัวอย่างและการผลิตข้อมูลหลังการประมวลผล การพัฒนาตามความต้องการของผู้ใช้
▶SEM + EDS Spectrometer + ราดโอนระยะว่าง + ราแมน สเปคโทรสโกปี้ + โปรแกรมการวิเคราะห์
การวิเคราะห์โครงสร้าง -- การวิเคราะห์กลไก -- ตารางการเคลื่อนที่ความแม่นยําสูง ▪ ทํา ให้ การ วิเคราะห์ โมเลกุล ที่ เทคโนโลยี EDS ไม่ สามารถ ทํา ได้ มากกว่า และ เข้าใจ ภาพ ของ ตัว อย่าง อย่าง อย่าง ครบถ้วน ▪ ทําการสลับระหว่างแกนออปติกของราแมน และแกนออปติกของรังไฟฟ้า อีเล็กทรอน ได้อย่างรวดเร็ว การวิเคราะห์หลายมิติของลักษณะตัวอย่าง และการติดตามในเวลาจริง การพัฒนาโครงสร้างของวัสดุในระหว่างกระบวนการชาร์จและชาร์จ และการศึกษาในลึกถึงกลไกการช่วยเหลือของพวกเขา ▪ โต๊ะเคลื่อนไหวเซรามิกแบบพีเซโอไฟฟ้าความเร็วสูงขนาดใหญ่ ที่มีความแม่นยําสูง และสามารถรับข้อมูลได้อย่างบูรณาการในตําแหน่งเดียวกันประชุม การวิเคราะห์ความมั่นคงของพื้นผิว Raman confocal ระยะยาว |