เอ 637088 | |
การแก้ไข | 1.0nm@30KV ((SE), 1.5nm@1KV ((SE) |
การขยายขนาด | 1x~2000000x |
ปืนอิเล็กตรอน | ปืนออกอากาศ Schottky Field |
โวลเตชั่น | โลตติจ์เร่ง 0.02 ~ 30KV |
แสงอิเล็กตรอน | 1pA ~ 20nA |
ระบบสูญเสีย | 1 ปั๊มไอออนสปูเตอร์ 1 ปั๊มโมเลกุลทอร์โบ 1 ปั๊มเครื่องจักรกล |
เครื่องตรวจจับ | SE ในเลนส์, SE ในห้องตัวอย่าง, BSE, CCD |
ขยาย Port | ขยายท่าทางบนห้องตัวอย่างสําหรับ BSE, EDS, EBSD, CL เป็นต้น |
ระยะตัวอย่าง | 5 แกนออโต้ขั้นตอน ระยะทาง: X=125mm, Y=125mm, Z=50mm, R=360°, T=-5°~+70° |
ตัวอย่างสูงสุด | ห้องตัวอย่าง กว้าง 330 มม ความสูง 260 มม |
ระบบภาพ | Real Still Image ความละเอียดสูงสุด 256x256~16k~16k พิกเซล |
คอมพิวเตอร์และโปรแกรม | PC Work Station ระบบ Windows พร้อมโปรแกรมวิเคราะห์ภาพมืออาชีพ เพื่อควบคุมการทํางานของไมโครสโกป SEM ทั้งหมด |
แผ่นควบคุม | รวม |
ขนาดและน้ําหนัก | หน่วยส่วนใหญ่ 1900x1100x1800 มิลลิเมตร น้ําหนักรวม 800 กิโลกรัม |
อุปกรณ์เสริมทางเลือก | |
เอ 507091 | เครื่องทําความสะอาดรังสีไอออน |
เอ 507092 | โคมไฟปืนปล่อยไฟสนาม |
▶การออกแบบอิเล็กตรอน-ออปติกส์ที่ดีเยี่ยม ●ปืนอิเล็กตรอนการปล่อยสนามความร้อน แสงคงที่ ความละเอียดภาพสูง ●เทคโนโลยีเร่งท่อเต็มให้ความสามารถในการถ่ายภาพสูงของรังอิเล็กตรอนที่ความแรงกระตุ้นเร่งต่ํา ●การออกแบบเลนส์ประกอบของเลนส์อิเล็กทรอสตติกและเลนส์แม่เหล็ก เลนส์เป้าหมายไม่มีการรั่วไหลของแม่เหล็ก และการถ่ายภาพของตัวอย่างแม่เหล็กไม่ต้องกังวล |
▶ระบบรวบรวมสัญญาณครบวงจร ● สามารถรวบรวมสัญญาณได้พร้อมกันจากอิเล็กตรอนประเภทสอง อิเล็กตรอนที่กระจายกลับและอิเล็กตรอนที่ส่ง ● การแสดงความแตกต่างของรูปร่างตัวอย่างและองค์ประกอบพร้อมกัน เพื่อเปิดเผยข้อมูลรูปร่างและองค์ประกอบของตัวอย่างในระดับเล็กน้อยที่สุด |