A63.7080, A63.7081 ซอฟต์แวร์ฟังก์ชั่นหลัก | ||
การว่าจ้างไฟฟ้าแรงสูงแบบบูรณาการ | เปิด / ปิดไส้หลอดอัตโนมัติ | กฎเกณฑ์กะที่อาจเกิดขึ้น |
การปรับความสว่าง | ปรับไฟฟ้าเป็นส่วนกลาง | ความสว่างอัตโนมัติ |
การปรับความคมชัด | การปรับเลนส์ใกล้วัตถุ | ออโต้โฟกัส |
การปรับกำลังขยาย | วัตถุประสงค์ degaussing | กำจัดสายตาเอียงอัตโนมัติ |
โหมดการสแกนพื้นที่ที่เลือก | การปรับการหมุนด้วยไฟฟ้า | การจัดการพารามิเตอร์กล้องจุลทรรศน์ |
โหมดการสแกนจุด | การปรับการกระจัดของลำแสงอิเล็กตรอน | การแสดงขนาดช่องสแกนแบบเรียลไทม์ |
โหมดสแกนเส้น | การปรับเอียงลำแสงอิเล็กตรอน | การปรับเลนส์ปืน |
การสแกนพื้นผิว | การปรับความเร็วในการสแกน | อินพุตหลายช่อง |
การตรวจสอบไฟฟ้าแรงสูง | สวิงเซ็นเตอร์ | การวัดไม้บรรทัด |
SEM | A63.7069 | A63.7080 | A63.7081 |
ปณิธาน | 3nm@30KV(SE) 6nm@30KV(BSE) |
1.5nm@30KV(SE) 3nm@30KV(BSE) |
1.0nm@30KV(SE) 3.0nm@1KV(SE) 2.5nm@30KV(BSE) |
กำลังขยาย | กำลังขยายจริงเชิงลบ 8x~300,000x | กำลังขยายจริงเชิงลบ 8x~80000x | 6x~1000000x กำลังขยายจริงเชิงลบ |
ปืนอิเล็กตรอน | ตลับไส้หลอดทังสเตนพรีเซ็นเตอร์ | Schottky Field Emission Gun | Schottky Field Emission Gun |
แรงดันไฟฟ้า | แรงดันไฟเร่ง 0~30KV, ปรับต่อเนื่องได้, ปรับสเต็ป 100V@0-10Kv, 1KV@10-30KV | ||
ดูด่วน | ฟังก์ชั่นดูภาพด่วนด้วยปุ่มเดียว | ไม่มี | ไม่มี |
ระบบเลนส์ | เลนส์เรียวแม่เหล็กไฟฟ้าสามระดับ | เลนส์เรียวแม่เหล็กไฟฟ้าหลายระดับ | |
รูรับแสง | รูรับแสงวัตถุประสงค์โมลิบดีนัม 3 ตัว ปรับภายนอกระบบสุญญากาศ ไม่จำเป็นต้องแยกส่วนวัตถุประสงค์เพื่อเปลี่ยนรูรับแสง | ||
ระบบสูญญากาศ | 1 ปั๊มโมเลกุลเทอร์โบ 1 ปั๊มเครื่องกล ห้องตัวอย่างสูญญากาศ>2.6E-3Pa ห้องปืนอิเล็กตรอนสุญญากาศ>2.6E-3Pa ระบบควบคุมสุญญากาศอัตโนมัติเต็มรูปแบบ ฟังก์ชันประสานสุญญากาศ รุ่นเสริม: A63.7069-LV 1 ปั๊มโมเลกุลเทอร์โบ 2ปั๊มเครื่องกล ห้องตัวอย่างสูญญากาศ>2.6E-3Pa ห้องปืนอิเล็กตรอนสุญญากาศ>2.6E-3Pa ระบบควบคุมสุญญากาศอัตโนมัติเต็มรูปแบบ ฟังก์ชันประสานสุญญากาศ สูญญากาศต่ำช่วง 10~270Pa สำหรับ Quick Switch ใน 90 วินาที สำหรับ BSE(LV) |
1 ชุดปั๊มไอออน 1 ปั๊มโมเลกุลเทอร์โบ 1 ปั๊มเครื่องกล เครื่องดูดฝุ่นห้องตัวอย่าง>6E-4Pa ห้องปืนอิเล็กตรอนสุญญากาศ>2E-7 Pa ระบบควบคุมสุญญากาศอัตโนมัติเต็มรูปแบบ ฟังก์ชันประสานสุญญากาศ |
1 สปัตเตอร์ไอออนปั๊ม 1 Getter Ion Compound Pump 1 ปั๊มโมเลกุลเทอร์โบ 1 ปั๊มเครื่องกล เครื่องดูดฝุ่นห้องตัวอย่าง>6E-4Pa ห้องปืนอิเล็กตรอนสุญญากาศ>2E-7 Pa ระบบควบคุมสุญญากาศอัตโนมัติเต็มรูปแบบ ฟังก์ชันประสานสุญญากาศ |
เครื่องตรวจจับ | SE: เครื่องตรวจจับอิเล็กตรอนทุติยภูมิสูญญากาศสูง (พร้อมระบบป้องกันตัวตรวจจับ) | SE: เครื่องตรวจจับอิเล็กตรอนทุติยภูมิสูญญากาศสูง (พร้อมระบบป้องกันตัวตรวจจับ) | SE: เครื่องตรวจจับอิเล็กตรอนทุติยภูมิสูญญากาศสูง (พร้อมระบบป้องกันตัวตรวจจับ) |
BSE: เซมิคอนดักเตอร์ 4 เซ็กเมนต์ เครื่องตรวจจับการกระเจิงกลับ รุ่นเสริม: A63.7069-LV บีเอสอี(LV): เซมิคอนดักเตอร์ 4 เซ็กเมนต์ เครื่องตรวจจับการกระเจิงกลับ |
ไม่จำเป็น | ไม่จำเป็น | |
CCD:กล้อง CCD อินฟราเรด | CCD:กล้อง CCD อินฟราเรด | CCD:กล้อง CCD อินฟราเรด | |
ขยายพอร์ต | 2 ขยายพอร์ตในห้องตัวอย่างสำหรับ EDS, BSD, WDS เป็นต้น |
4 ขยายพอร์ตในห้องตัวอย่างสำหรับ BSE, EDS, BSD, WDS เป็นต้น |
4 ขยายพอร์ตในห้องตัวอย่างสำหรับ BSE, EDS, BSD, WDS เป็นต้น |
ขั้นตัวอย่าง | เวที 5 แกน 4รถยนต์+1คู่มือควบคุม ช่วงการเดินทาง: X=70mm, Y=50mm, Z=45mm, R=360°, T=-5°~+90°(แมนนวล) Touch Alert & Stop Function |
5 แกนรถยนต์ กลางเวที ช่วงการเดินทาง: X=80mm, Y=50mm, Z=30mm, R=360°, T=-5°~+70° Touch Alert & Stop Function รุ่นเสริม: A63.7080-M5 แกนคู่มือเวที A63.7080-L5 แกนรถยนต์ ใหญ่เวที |
5 แกนรถยนต์ ใหญ่เวที ช่วงการเดินทาง: X=150mm, Y=150mm, Z=60mm, R=360°, T=-5°~+70° Touch Alert & Stop Function |
ตัวอย่างสูงสุด | Dia.175mm สูง 35mm | Dia.175mm สูง 20mm | Dia.340mm สูง 50mm |
ระบบภาพ | ความละเอียดสูงสุดของภาพนิ่งจริง 4096x4096 พิกเซล รูปแบบไฟล์ภาพ: BMP (ค่าเริ่มต้น), GIF, JPG, PNG, TIF |
ภาพนิ่งจริงความละเอียดสูงสุด 16384x16384 พิกเซล, รูปแบบไฟล์รูปภาพ: TIF (ค่าเริ่มต้น), BMP, GIF, JPG, PNG วิดีโอ: บันทึกวิดีโอดิจิตอล .AVI . อัตโนมัติ |
ภาพนิ่งจริงความละเอียดสูงสุด 16384x16384 พิกเซล, รูปแบบไฟล์รูปภาพ: TIF (ค่าเริ่มต้น), BMP, GIF, JPG, PNG วิดีโอ: บันทึกวิดีโอดิจิตอล .AVI . อัตโนมัติ |
คอมพิวเตอร์ซอฟแวร์ | ระบบ PC Work Station Win 10 พร้อมซอฟต์แวร์วิเคราะห์ภาพระดับมืออาชีพเพื่อควบคุมการทำงานของกล้องจุลทรรศน์ SEM ทั้งหมด ข้อกำหนดคอมพิวเตอร์ไม่น้อยกว่า Inter I5 3.2GHz หน่วยความจำ 4G จอ LCD IPS 24 นิ้ว ฮาร์ดดิสก์ 500G เมาส์ คีย์บอร์ด | ||
การแสดงภาพถ่าย | ระดับภาพมีความสมบูรณ์และปราณีต แสดงกำลังขยายตามเวลาจริง ไม้บรรทัด แรงดันไฟฟ้า เส้นสีเทา | ||
มิติ & น้ำหนัก |
กล้องจุลทรรศน์ร่างกาย 800x800x1850mm โต๊ะทำงาน 1340x850x740mm น้ำหนักรวม 400Kg |
กล้องจุลทรรศน์ร่างกาย 800x800x1480mm โต๊ะทำงาน 1340x850x740mm น้ำหนักรวม 450Kg |
ตัวกล้องไมโครสโคป 1000x1000x1730mm โต๊ะทำงาน 1330x850x740mm น้ำหนักรวม 550Kg |
อุปกรณ์เสริม | |||
อุปกรณ์เสริม | A50.7002EDS Energy Dispersive X-Ray Spectrometer A50.7011เครื่องเคลือบไอออนสปัตเตอร์ |
A50.7001เครื่องตรวจจับอิเล็กตรอนแบบกระเจิงกลับ BSE A50.7002EDS Energy Dispersive X-Ray Spectrometer A50.7011เครื่องเคลือบไอออนสปัตเตอร์ A50.7030แผงควบคุมมอเตอร์ |
A50.7001เครื่องตรวจจับอิเล็กตรอนแบบกระเจิงกลับ BSE A50.7002EDS Energy Dispersive X-Ray Spectrometer A50.7011เครื่องเคลือบไอออนสปัตเตอร์ A50.7030แผงควบคุมมอเตอร์ |
A50.7001 | เครื่องตรวจจับ BSE | เซมิคอนดักเตอร์สี่ส่วนกลับเครื่องตรวจจับกระเจิง; มีอยู่ในส่วนผสม A+B, ข้อมูลทางสัณฐานวิทยา AB; ตัวอย่างที่มีอยู่ สังเกตโดยไม่ต้องสปัตเตอร์ทอง; มีให้ในการสังเกตสิ่งเจือปนและการกระจายจากแผนที่ระดับสีเทาโดยตรง |
A50.7002 | EDS (เครื่องตรวจจับเอ็กซ์เรย์) | หน้าต่างซิลิคอนไนไตรด์ (Si3N4) เพื่อเพิ่มประสิทธิภาพการส่งเอ็กซ์เรย์พลังงานต่ำสำหรับการวิเคราะห์องค์ประกอบแสง ความละเอียดที่ยอดเยี่ยมและอิเล็กทรอนิกส์ขั้นสูงที่มีสัญญาณรบกวนต่ำให้ประสิทธิภาพการรับส่งข้อมูลที่โดดเด่น รอยเท้าขนาดเล็กให้ความยืดหยุ่นเพื่อให้แน่ใจว่ามีรูปทรงเรขาคณิตและสภาพคอลเลกชัน Aata ในอุดมคติ; เครื่องตรวจจับมีชิป 30mm2 |
A50.7003 | EBSD (การเลี้ยวเบนกลับของลำแสงอิเล็กตรอน) | ผู้ใช้สามารถวิเคราะห์การวางแนวคริสตัล เฟสคริสตัล และพื้นผิวขนาดเล็กของวัสดุและประสิทธิภาพของวัสดุที่เกี่ยวข้อง ฯลฯ ปรับการตั้งค่ากล้อง EBSD ให้เหมาะสมโดยอัตโนมัติ ในระหว่างการรวบรวมข้อมูล ทำการวิเคราะห์แบบเรียลไทม์เชิงโต้ตอบเพื่อให้ได้ข้อมูลสูงสุด ข้อมูลทั้งหมดถูกประทับตราด้วยแท็กเวลาซึ่งสามารถดูได้ตลอดเวลา ความละเอียดสูง 1392 x 1040 x 12 ความเร็วในการสแกนและดัชนี: 198 จุด / วินาทีโดยมี Ni เป็นมาตรฐานภายใต้เงื่อนไข 2 ~ 5nA สามารถตรวจสอบอัตราดัชนี≥99% ทำงานได้ดีภายใต้สภาวะกระแสไฟต่ำและแรงดันไฟต่ำ 5kV ที่ 100pA ความแม่นยำในการวัดทิศทาง: ดีกว่า 0.1 องศา ใช้ระบบดัชนีสามเท่า: ไม่จำเป็นต้องพึ่งพาคำจำกัดความแบนด์เดียว จัดทำดัชนีได้ง่ายสำหรับคุณภาพของรูปแบบที่ไม่ดี ฐานข้อมูลเฉพาะ: ฐานข้อมูลพิเศษ EBSD ที่ได้จากการเลี้ยวเบนของอิเล็กตรอน: >400 โครงสร้างเฟส ความสามารถของดัชนี: สามารถจัดทำดัชนีวัสดุคริสตัลทั้งหมดของระบบคริสตัล 7 ระบบได้โดยอัตโนมัติ ตัวเลือกขั้นสูง ได้แก่ การคำนวณค่าความแข็งแบบยืดหยุ่น (Elastic Stiffness) ปัจจัยของ Taylor (Taylor) ปัจจัยของ Schmidt (Schmid) เป็นต้น |
A50.7010 | เครื่องเคลือบ | เปลือกป้องกันกระจก: ∮250mm;สูง 340 มม. ห้องแปรรูปแก้ว: ∮88mm;สูง 140 มม., ∮88 มม.;สูง 57 มม. ขนาดชิ้นงานตัวอย่าง: ∮40mm (สูงสุด); ระบบสูญญากาศ: ปั๊มโมเลกุลและปั๊มเครื่องกล; การตรวจจับสูญญากาศ: Pirani Gage; สูญญากาศ:ดีกว่า 2 X 10-3 Pa; การป้องกันสูญญากาศ: 20 Pa พร้อมวาล์วเงินเฟ้อระดับไมโคร การเคลื่อนที่ของตัวอย่าง: การหมุนระนาบ การเคลื่อนตัวเอียง |
A50.7011 | เครื่องเคลือบไอออนสปัตเตอร์ | ห้องแปรรูปแก้ว: ∮100mm;สูง 130 มม. ขนาดขั้นของตัวอย่าง: ∮40 มม. (ถือ 6 ถ้วยตัวอย่าง) ; ขนาดเป้าหมายสีทอง: ∮58mm*0.12mm(thickness); การตรวจจับสูญญากาศ: Pirani Gage; การป้องกันสูญญากาศ: 20 Pa พร้อมวาล์วเงินเฟ้อระดับไมโคร ก๊าซปานกลาง: อาร์กอนหรืออากาศด้วยก๊าซอาร์กอน ช่องอากาศพิเศษและก๊าซที่ควบคุมในไมโครสเกล |
A50.7012 | เครื่องเคลือบอาร์กอนไอออนสปัตเตอร์ | ตัวอย่างถูกชุบด้วยคาร์บอนและทองคำภายใต้สุญญากาศสูง ตารางตัวอย่างที่หมุนได้, การเคลือบผิวสม่ำเสมอ, ขนาดอนุภาคประมาณ 3-5 นาโนเมตร; ไม่มีการเลือกวัสดุเป้าหมาย ไม่มีความเสียหายต่อตัวอย่าง สามารถรับรู้หน้าที่ของการทำความสะอาดด้วยไอออนและการทำให้ไอออนบางลงได้ |
A50.7013 | เครื่องเป่าจุดวิกฤต | เส้นผ่านศูนย์กลางภายใน: 82 มม. ความยาวภายใน: 82 มม.; ช่วงความดัน:0-2000psi; ช่วงอุณหภูมิ:0°-50°C (32°-122°F) |
A50.7014 | การพิมพ์หินลำแสงอิเล็กตรอน | จากกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราด ได้มีการพัฒนาระบบการเปิดรับแสงระดับนาโนแบบใหม่ Modificaton ได้เก็บฟังก์ชัน Sem ทั้งหมดไว้สำหรับการสร้างภาพความกว้างของเส้นระดับนาโน ระบบ Ebl ที่ดัดแปลงแล้วนำไปใช้อย่างกว้างขวางในอุปกรณ์ไมโครอิเล็กทรอนิกส์ อุปกรณ์ออปโตอิเล็กทรอนิกส์ อุปกรณ์ควอนตัน การวิจัยและพัฒนาระบบไมโครอิเล็กทรอนิกส์ |
A63.7080, A63.7081 ชุดวัสดุสิ้นเปลืองมาตรฐาน | |||
1 | เส้นใยปล่อยสนาม | ติดตั้งในกล้องจุลทรรศน์ | 1 ชิ้น |
2 | ถ้วยตัวอย่าง | Dia.13mm | 5 ชิ้น |
3 | ถ้วยตัวอย่าง | Dia.32mm | 5 ชิ้น |
4 | เทปนำไฟฟ้าสองหน้าคาร์บอน | 6mm | 1 แพ็คเกจ |
5 | จาระบีสูญญากาศ | 10 ชิ้น | |
6 | ผ้าไม่มีขน | 1 หลอด | |
7 | น้ำยาขัดเงา | 1 ชิ้น | |
8 | กล่องตัวอย่าง | 2 กระเป๋า | |
9 | สำลีก้าน | 1 ชิ้น | |
10 | ตัวกรองละอองน้ำมัน | 1 ชิ้น | |
A63.7080, A63.7081 ชุดเครื่องมือและชิ้นส่วนมาตรฐาน | |||
1 | ประแจหกเหลี่ยมด้านใน | 1.5mm~10mm | 1 ชุด |
2 | แหนบ | ความยาว 100-120mm | 1 ชิ้น |
3 | ไขควงปากแบน | 2*50mm, 2*125mm | 2 ชิ้น |
4 | ไขควงแฉก | 2*125มม. | 1 ชิ้น |
5 | ล้างท่อระบายอากาศ | Dia.10/6.5mm (เส้นผ่านศูนย์กลางออก/เส้นผ่านศูนย์กลางภายใน) | 5m |
6 | วาล์วลดแรงดันลม | แรงดันขาออก 0-0.6MPa | 1 ชิ้น |
7 | แหล่งจ่ายไฟอบภายใน | 0-3A DC | 2 ชิ้น |
8 | แหล่งจ่ายไฟของ UPS | 10kVA | 2 ชิ้น |