♦แผงควบคุมภาษาอังกฤษ
♦ชุดซอฟต์แวร์อัตโนมัติเต็มรูปแบบ
♦บริการแก้ไขที่มีอยู่
♦ SEM สินค้าขายดี
กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราด (sem) เหมาะสำหรับการตรวจสอบสภาพภูมิประเทศของโลหะเซรามิกส์เซมิคอนดักเตอร์แร่ธาตุชีววิทยาพอลิเมอร์คอมโพสิตและนาโนสเกลหนึ่งมิติวัสดุสองมิติและสามมิติ (ภาพอิเล็กตรอนทุติยภูมิ ภาพอิเล็กตรอน backsc กระจัดกระจาย) มันสามารถนำมาใช้ในการวิเคราะห์จุดเส้นและองค์ประกอบพื้นผิวของ microregion มันถูกใช้กันอย่างแพร่หลายในปิโตรเลียม, ธรณีวิทยา, แร่ฟิลด์, อิเล็กทรอนิกส์, เซมิคอนดักเตอร์, ยา, ชีววิทยาฟิลด์, อุตสาหกรรมเคมี, วัสดุพอลิเมอ การสืบสวนคดีอาชญากรรมด้านความมั่นคงสาธารณะการเกษตรป่าไม้และสาขาอื่น ๆ
A63.7062 Eco Tungsten Filament SEM | ||
มติ | 4.5nm@30KV (SE); 6nm @ 30KV (BSE) | |
การขยายภาพ | กำลังขยายลบ: 15x ~ 250000x; การขยายหน้าจอ: 30x ~ 500000x | |
ปืนอิเล็กตรอน | ตลับทังสเตนไส้หลอดคาร์ไบด์ทังสเตนที่มีความร้อนสูงเป็นศูนย์กลาง | |
เร่งแรงดันไฟฟ้า | 0 ~ 30KV | |
ระบบเลนส์ | เลนส์แม่เหล็กไฟฟ้าสามระดับ (เลนส์แบบเรียว) | |
รูรับแสงวัตถุประสงค์ | โมลิบดีนัมรูรับแสงที่ปรับได้นอกระบบสูญญากาศ | |
ด่านตัวอย่าง | Five Axes Stage | |
ช่วงการเดินทาง | X (อัตโนมัติ) | 0 ~ 50mm |
Y (อัตโนมัติ) | 0 ~ 50mm | |
Z (Manual) | 0 ~ 25mm | |
R (Manual) | 360 องศา | |
T (Manual) | -5º ~ 90 องศา | |
เส้นผ่าศูนย์กลางชิ้นงานสูงสุด | 150mm | |
เครื่องตรวจจับ | เครื่องตรวจจับอิเล็กตรอนทุติยภูมิสูง (พร้อมระบบป้องกันเครื่องตรวจจับ) | |
การแก้ไข | Stage Upgrade; EBL; STM; AFM; Heating Stage; Cryo Stage; Tensile Stage; Micro-nano Manipulator; SEM + เครื่องเคลือบ; SEM + เลเซอร์ | |
อุปกรณ์ | CCD, LaB 6 , เครื่องตรวจจับเอ็กซ์เรย์ (EDS), EBSD, CL, WDS, เครื่องเคลือบ | |
ระบบสูญญากาศ | ปั๊มโมเลกุลโมเลกุลปั๊มหมุน | |
ลำแสงอิเล็กตรอนปัจจุบัน | 10pAt ~ 0.1μA | |
พีซี | ปรับแต่งสถานีงานของเดลล์ |
ตลับทังสเตนไส้หลอดคาร์ไบด์ทังสเตนที่มีความร้อนสูงเป็นศูนย์กลาง
เลนส์ไฟฟ้าในกระบอกสูบนี้
วาล์วแยกมั่นใจว่าสูญญากาศบนจะไม่ได้รับผลกระทบเมื่อเปิดห้องตัวอย่าง
รูรับแสงวัตถุประสงค์
ตัวอย่างที่จะต้องสังเกตต้องใส่ในห้องตัวอย่าง
เวทีห้าแกน, ตัวควบคุมมอเตอร์ X / Y (เล็ก)
เครื่องอุปโภคบริโภค | ||||
ชื่อ | สเปค | ปริมาณ | หน่วย | |
1 | ไส้หลอดตรงกลาง | 5 | ชุด | |
2 | ถ้วยตัวอย่าง | (φ13) | 10 | ชิ้น |
3 | ถ้วยตัวอย่าง | (φ32) | 10 | ชิ้น |
4 | เทปคาร์บอนนำไฟฟ้า (สองด้าน) | 6mm | 1 | พีซี |
5 | จาระบีสูญญากาศ | 1 | ขวด | |
6 | ผ้าไร้ขุย | 20 | ชิ้น | |
7 | ระบายท่อ | 5 | เมตร | |
8 | ขัดวาง | 1 | ชุด | |
เครื่องมือ | ||||
ชื่อ | ปริมาณ | หน่วย | ||
1 | ประแจอัลเลน | 1 | ชุด | |
2 | ทำความสะอาดแท่ง | 1 | พีซี | |
3 | ยิง | 1 | พีซี | |
4 | เครื่องมือถอดรูรับแสง | 1 | พีซี | |
5 | แหนบ | 1 | พีซี | |
6 | ไขควง | 2 | ชิ้น |
เครื่องตรวจจับอิเล็กตรอนทุติยภูมิสูง
อินเตอร์เฟสการเชื่อมต่ออุปกรณ์เสริม
A63.7062 รองรับสามหน้าต่างซิงโครนัสสองชาแนล (SE + BSE) พร้อมหน้าต่าง CCD; ความละเอียดของภาพ: 4096 * 4096 พิกเซล